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- [其他]双向微动调心装置-CN87217516无效
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王江;邹自强
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中国科学技术大学
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1987-12-30
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1988-11-30
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H01L21/66
- 本实用新型是一种用于高精度测量的双向微动调心装置,由调节螺杆,弹性元件,立柱,上台面,底座组成。以弹性元件的弹性比作为其传动比,用刚度很小的弹性元件推动刚度相对很大的立柱,利用立柱的弹性形变,达到调节的目的,采用三根或三根以上立柱,避免调节中的倾斜误差,并使二个方向的调节相互独立成为可能。本实用新型具有结构简单,调节方便,成本低,测量精度高,行程大,灵敏度可变的优点。
- 双向微动装置
- [其他]管芯测量观察装置-CN87201004无效
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陈瑞璋
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中国科学院上海冶金研究所
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1987-02-05
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1988-05-18
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H01L21/66
- 本实用新型是半导体激光或发光二极管管芯的测量观察装置,属于半导体光辐射器件制造或处理时的测量设备。它由抽气泵,通气泵阀,使管芯绕轴和自身作360°旋转和上下移动的机械调节机构及观察显微镜组成。本实用新型配以测量仪器可以测量激光器或发光二极管的电学特性,电光特性,也可观察激光二极管管芯的解理腔面,通气泵阀可使管芯方便的吸附在吸片针上及使管芯自然落入管芯盒中。是LD与LED研究制造过程中的有效监测工具。
- 管芯测量观察装置
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