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[发明专利]一种芯片夹具-CN202010105043.1在审
发明人：赵泽平;张志珂;刘建国;韩雪妍 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2020-02-20 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：本公开实施方式提供了一种芯片夹具。所述芯片夹具包括：多面体结构，包括多个夹具单元，各所述夹具单元的吸孔与真空接阀位于所述多面体结构的外表面，且不同夹具单元上的吸孔形成不同的形状；其中，所述真空接阀用于外接真空泵，并在所述夹具单元的壳体内形成真空，使所述吸孔处产生吸力，以将放置于所述吸孔上的芯片进行固定。本公开提供的芯片夹具可以适用于多种形状的芯片，从而在测试不同形状和尺寸的芯片时，无需更换夹具，提高了芯片测试的效率。
一种芯片夹具

[发明专利]测试布线电路的设备和方法-CN201910588959.4在审
发明人：林美贤;金成烈;金宰弘;金泽真;李庆旼 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2019-07-02 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：提供了用于测试布线电路的设备和方法。所述设备包括：电路基底，具有在电路基底中的布线和在电路基底的上表面上并连接到布线的垫；电极，位于电路基底的下表面下方；光学传感器，位于电路基底的上表面上方，并且被构造成检测从电路基底的上表面发射的信号；以及光学单元，位于光学传感器上方并且被构造成照射光，其中，光学传感器包括：光学基底，其光学特性通过从电路基底的上表面发射的信号而改变；以及图案化反射层，位于光学基底的面对电路基底的表面上，图案化反射层具有反射入射在光学基底上的光的第一区域和透射入射在光学基底上的光的第二区域。
测试布线电路设备方法

[发明专利]探测装置及包括探测装置的测试装置-CN201910826110.6在审
发明人：池晧哲;赵根煐 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：提供了探测装置和包括其的测试装置。所述探测装置包括：光纤阵列，所述光纤阵列包括将与光学集成电路板光学通信的光纤和固定所述光纤的基体基板，所述光学集成电路板包括光耦合元件和反射镜；以及中间基板，所述中间基板包括孔和探测镜，所述光纤插入到所述孔中，所述探测镜用于在所述反射镜和所述光耦合元件之间反射光信号。
探测装置包括测试

[发明专利]一种获取器件功能模块单粒子本征错误截面的方法-CN201710104221.7有效
发明人：赵元富;于春青;蔡一茂;范隆;郑宏超;陈茂鑫;岳素格;王亮;李建成;王煌伟;杜守刚;李哲;毕潇;姜柯;赵旭;穆里隆;关龙舟;李继华;简贵胄;初飞;喻贤坤;庄伟;刘亚丽;祝长民;王思聪;李月 -专利权人：北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所
申请日： 2017-02-24 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：一种获取器件功能模块单粒子本征错误截面的方法，首先对器件功能模块进行划分，然后直接利用脉冲激光试验获取结构规则功能模块的本征错误截面，编制测试程序，获取每种测试程序下器件的应用错误截面以及各个功能模块的占空因子，根据各种测试程序下器件的应用错误截面公式进行方程组联立求解，得到各个结构不规则功能模块的本征错误截面。本发明方法能够获取集成电路中所有功能模块的本征错误截面，以直观反应每个功能模块的单粒子敏感性。
一种获取器件功能模块粒子错误截面方法

[发明专利]可见激光电路故障隔离-CN201780056484.3在审
发明人： R·R·戈鲁甘萨;G·S·马蒂;M·维尔拉法纳 -专利权人：高通股份有限公司
申请日： 2017-08-15 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：在可见光故障分析工具中，透明覆盖片介于透镜与减薄的管芯之间，使得减薄的管芯对断裂是稳健的。另外，透明覆盖片具有比减薄的管芯更大的热质量，并且因此用作热沉以防止减薄的管芯中的有源电路在可见光故障分析期间过热。
管芯减薄可见光覆盖片透镜故障分析工具电路故障故障分析可见激光透明源电路过热热沉断裂隔离

[发明专利]光子辐射显微镜样品座、测试方法及显微镜装置-CN201811630274.3在审
发明人：丁德建;刘海岸;曹茂庆 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：本发明公开了一种光子辐射显微镜样品座，包括：基板，所述基板上设置有用于承载样品的样品承载区；所述样品承载区内沿垂直方向贯穿所述基板；所述样品承载区内设有透光材质的承载板；金属电极，其设置在所述基板中并沿垂直方向贯穿所述基板；接合线，用于将所述待测样品的扎针区域与所述金属电极电连接。本发明使原有的正/背面探测式EMMI/OBIRCH应用分析设备具有从两面进行分析应用的能力。可更加方便快捷的精确定位缺陷位置。
基板样品承载显微镜样品光子辐射金属电极显微镜装置待测样品定位缺陷分析设备分析应用透光材质扎针区域承载板电连接接合线原有的贯穿背面探测承载测试应用

[发明专利]叠层封装的测试装置和测试系统-CN201710898443.0在审
发明人：贾波;陈光跃;赵谦 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2017-09-28 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：本申请提供一种叠层封装的测试装置和测试系统，该测试装置包括：POP和转接板，所述POP包括顶层封装和底层封装，所述转接板的上表面上设置有第一焊盘，所述转接板的底面设置有第二焊盘；所述顶层封装通过所述第一焊盘、所述第二焊盘和所述转接板上信号线，与所述底层封装电连接，所述底层封装的底面与电子设备系统的主板电连接；所述转接板上位于所述底层封装正上方的区域未设置信号线，所述第二焊盘设置在所述区域的周围。本申请可以实现在电子设备系统正常工作的状态下，实现对POP的顶层封装和底层封装的电磁注入的安全探测，降低了顶层封装和底层封装进行电磁探测时的电磁干扰，提高了POP安全探测的可靠性和稳定性。
封装转接板焊盘顶层测试装置电子设备系统安全探测测试系统叠层封装电连接底面电磁干扰电磁探测设置信号上表面信号线主板申请

[发明专利]用于动态分配扫描测试资源的电路和方法-CN201480003921.1有效
发明人： R·A·帕瑞克基;S·拉维;P·纳拉亚南;M·谢蒂 -专利权人：德克萨斯仪器股份有限公司
申请日： 2014-01-24 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：公开一种测试被测设备(DUT)的方法和测试系统。生成与从测试系统接收到的测试图案结构关联的至少一个控制信号(705)。从DUT中数量为M的I/O端口选择M1个端口，以基于控制信号接收对应于测试图案结构的扫描输入(710)，以及从数量为M的I/O端口选择M2个端口，以基于控制信号提供扫描输出(715)。M1和M2中的每个是选自0到M的数值，其中M1和M2的总和小于或等于M。DUT的扫描测试基于提供扫描输入到M1个端口以及从M2个端口接收扫描输出来执行(730)。
用于动态分配扫描测试资源电路方法

[发明专利]芯片单粒子效应探测方法及装置-CN201610480725.4有效
发明人：李慧云;邵翠萍;刘玢玢 -专利权人：中国科学院深圳先进技术研究院
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2019-02-12 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：本发明公开了一种芯片单粒子效应探测方法及装置，其中方法包括：将待测芯片放入测试机台，触发待测芯片产生单粒子效应；利用使能信号随机关断待测芯片的扫描寄存器，形成随机观测矩阵；向待测芯片输入测试向量，获得待测芯片的输出测试向量，根据输出测试向量获得错误总数向量；对错误总数向量进行压缩感知信号重构，确定待测芯片内部敏感区域。本发明可以高效、便捷地对芯片单粒子效应进行探测。
芯片粒子效应探测方法装置

[发明专利]可调谐波长电子光学分析器-CN201680072479.7在审
发明人： U·金德利特;V·布鲁斯 -专利权人：高通股份有限公司
申请日： 2016-11-30 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：一种电子光学分析系统提供有波长可调谐激光器，使得DUT可由不同波长的激光照射。确定与来自以多个波长进行激光器照射的DUT的反射相对应的信号质量。每一波长的信号质量可以在一波长范围上与阈值信号质量相比较，或者彼此相比较，以标识提高分辨率并减少破坏性干扰和串扰的波长。
波长电子光学波长可调谐激光器激光器照射破坏性干扰分析系统激光照射阈值信号分辨率分析器可调谐串扰反射

[发明专利]脉冲激光模拟单粒子试验系统及方法-CN201610055962.6有效
发明人：郝明明;雷志峰;路国光 -专利权人：工业和信息化部电子第五研究所
申请日： 2016-01-26 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：本发明涉及一种脉冲激光模拟单粒子试验系统及方法。所述系统包括：依激光光束前进方向设置的脉冲激光器、激光能量调节器、光束准直器、扫描振镜系统、F‑θ物镜以及测试电路；脉冲激光器输出激光光束；激光能量调节器调节激光光束的能量；光束准直器减小激光光束的发散角；扫描振镜系统控制激光光束的偏转；F‑θ物镜对激光光束进行聚焦，聚焦形成的光斑作用于测试样品；测试电路获取测试样品在激光作用下发生单粒子效应的测试数据。通过本发明，能够保证单粒子效应实验效果，且易于实现重复定位，并降低实验成本。
激光光束脉冲激光模拟扫描振镜系统单粒子试验单粒子效应光束准直器脉冲激光器调节器测试电路测试样品激光能量物镜聚焦偏转输出激光光束光斑测试数据方向设置激光作用实验成本实验效果重复定位发散角减小保证

[发明专利]用于确定对随机电报信号敏感的集成电路部分的方法和装置-CN201680046733.6在审
发明人：约翰·梅兰森;艾伦·布莱楠;贾斯汀·多格提;莱姆雅·巴拉桑达拉姆 -专利权人：思睿逻辑国际半导体有限公司
申请日： 2016-06-08 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：根据本公开的实施例，一种用于确定对RTS噪声敏感的集成电路的位置的方法可包括向所述集成电路的扫描区域施加局部热量；响应于向所述扫描区域施加局部热量，观察表示对RTS噪声敏感的所述集成电路的一个或更多个电气参数的任何变化；对响应于向所述扫描区域施加局部热量而观察表示对RTS噪声敏感的所述集成电路的一个或更多个电气参数的变化作出响应，确定对RTS噪声敏感的所述位置。
用于确定随机电报信号敏感集成电路部分方法装置

[发明专利]利用EMMI检测芯片静态漏电的辅助电路的设计方法-CN201510222506.1有效
发明人：车文毅 -专利权人：上海坤锐电子科技有限公司
申请日： 2015-05-04 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：本发明公开一种利用EMMI检测芯片静态漏电的辅助电路的设计方法，包括步骤①对待测集成电路芯片，根据电路功能，划分成N个单元模块；②根据单元模块的多少，设置数量与之相同的PN结二极管，即N个二极管；③对各个单元模块分别设置模块电流复制和放大电路，使每个模块电流复制和放大电路分别与和其相对应的单元模块和二极管相连。本发明将不易被EMMI检测出的故障类型，转换为易被EMMI检测出的PN结空穴电子复合电流的变化，只要失效样本的失效类型可以导致电流的变化，都可以被EMMI检测出来，同时，等效地增加了使用EMMI进行故障分析时的检测灵敏度。
利用 emmi 检测芯片静态漏电辅助电路设计方法

[发明专利]一种脉冲激光个数优化方法及单粒子翻转截面的测试方法-CN201210536186.3有效
发明人：封国强;上官士鹏;韩建伟;马英起;余永涛;姜昱光;朱翔;陈睿 -专利权人：中国科学院空间科学与应用研究中心
申请日： 2012-12-12 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：本发明涉及一种优化脉冲激光个数的方法，该方法用于优化脉冲激光测试器件单粒子翻转截面的脉冲激光个数，针对某一激光能量E_i，脉冲激光个数F采用如下步骤确定：步骤101）获取在该激光能量下的光斑面积τ和器件单个功能单元面积Δ；步骤102）获取激光个数判决参考值，该判决参考值为上述光斑面积τ和器件单个功能单元面积Δ的比值；步骤103）当判决参考值大于1时，所述激光个数依据光斑面积大小确定；当判决参考值小于1时，所述激光个数依据单个功能单元面积确定。当判决参考值n大于1时，所述激光个数F=1/kτ；当n小于1时，所述激光个数F=1/kΔ，其中k为调制因子，其取值范围为1-25。
一种脉冲激光个数优化方法粒子翻转截面测试

[发明专利]一种动态EMMI系统及其实现方法和应用方法-CN201310165050.0有效
发明人：李强;蔡恩静 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2013-05-07 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：本发明公开了一种动态EMMI系统及其实现方法和应用方法，包括通用EMMI平台、安装有需分析芯片的通用PCB基板、信号发生器以及外部电源。本发明具有如下优点或者有益效果：1.采用简单的信号发生器和通用PCB基板，使SRAM等存储器芯片或者简单的逻辑IC进入预定工作模式，在此情况下进行EMMI热点的抓取，低成本的实现了动态EMMI操作；2.丰富了失效定位方法，对于不太容易定位的存储器芯片失效模式，能迅速定位到有缺陷的某个存储单元，极大的增加了后面的PFA效率和成功率，缩短了良率分析的周期，可广泛应用于各种良率提升分析和IP分析。
一种动态 emmi 系统及其实现方法应用