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- [实用新型]炉管结构及扩散炉-CN202321259783.6有效
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朱太荣;易术;万林;屈亚运;肖阳;陈洪鑫
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拉普拉斯新能源科技股份有限公司
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2023-05-23
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2023-10-20
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C30B31/06
- 本实用新型属于扩散设备技术领域，公开了一种炉管结构及扩散炉。该炉管结构包括炉管本体和防护件。该炉管本体具有内腔；该防护件设置于该炉管本体内壁，该防护件具有一接收外部热辐射的热吸收表面和一热发射表面，该热发射表面被配置为将热吸收表面接收到的外部热辐射以热传导的方式传递给位于该内腔中的片状材料。该炉管结构中的防护件能够防止扩散反应对其内壁的损害，延长使用寿命，并且防护件的热吸收表面能够接收外部热辐射，热发射表面能够以热传导的方式将热量传递给位于该内腔中的片状材料。通过上述设置，能够提升温度传递的均匀性，稳定炉管本体的内部温度，使温度的传递更稳定和均衡。
- 炉管结构扩散
- [实用新型]一种扩散炉及扩散装置-CN202320990286.7有效
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王晨光;杨宝立;陈淳才;蒋能明;何子民
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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
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2023-04-23
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2023-10-03
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C30B31/06
- 本实用新型公开了一种扩散炉，包括：内设有反应腔的炉主体，反应腔的侧壁开设有废气排气口；位于反应腔外部的第一进气管和第二进气管，第一进气管的第一出气端延伸至反应腔内部且位于炉主体前侧；第二进气管的第二出气端延伸至反应腔内部且位于炉主体的中后侧。通过采用上述的结构，通过调整第一进气管和第二进气管输送工艺气体的流量，使得扩散炉可以加长后，反应腔内部的工艺气体浓度前后仍能基本保持一致，因而扩散炉能够一次处理更多的硅片且硅片扩散处理工艺的均匀性更好。本实用新型还公开了扩散装置，包括输气组件及上述的扩散炉。通过采用上述的扩散炉，使得扩散装置进行扩散工艺处理时，既能够提高产能，而且硅片的扩散处理更加均匀。
- 一种扩散装置
- [实用新型]一种单片式外延炉-CN202223384284.8有效
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沈恒文;程宣林;金修领;高月华
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江苏艾匹克半导体设备有限公司
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2022-12-16
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2023-04-07
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C30B31/06
- 本实用新型提供一种单片式外延炉，涉及外延炉技术领域，包括外壳，所述外壳的上表面设置有升降组件，所述外壳的下表面设置有夹持组件；所述夹持组件包括矩形块，所述矩形块的下表面开设有安装槽，所述安装槽的内表面之间转动连接有双向丝杆，所述双向丝杆的右端面滑动贯穿安装槽的内表面并延伸至外侧，所述双向丝杆的右端面固定连接有第一把手。本实用新型中，转动第一把手，带动双向丝杆转动，从而同时使两个移动块移动，然后通过两个夹持块和挡板可以将不同大小的卤钨灯组加热器安装在矩形块的中心位置，通过卤钨灯组加热器对石英CVD反应腔的外部进行加热，从而减少氯化氢腐蚀时间，提升了工作效率。
- 一种单片外延
- [实用新型]一种新型太阳能电池扩散源瓶-CN202222485519.6有效
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贡江涛;张飞;孙铁囤
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常州亿晶光电科技有限公司
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2022-09-20
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2023-01-31
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C30B31/06
- 本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其是涉及一种新型太阳能电池扩散源瓶，包括瓶体以及安装在瓶体上的进气管和出气管，瓶体具有容腔，瓶体内开设有用于汇集反应物的凹槽，凹槽与容腔连通，凹槽内布置分流装置，进气管的输出端和分流装置的输入端连通，分流装置使得进气管输入的气体分流，分流装置的输出端位于凹槽内，出气管的输入端位于容腔上部，通过凹槽的设计，能够将最后剩余的三氯氧磷集中在凹槽内，最终进气管的出气点也凹槽内，三氯氧磷液位较低时，进来的氮气仍能在凹槽内与三氯氧磷充分接触；通过分流装置的设计，增加了进气点到三氯氧磷液位表面的距离，增加了氮气和三氯氧磷的接触。
- 一种新型太阳能电池扩散
- [发明专利]一种扩散炉用排气装置-CN202211269893.0在审
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王天齐;李志斌;胡文峰;尹锦锦;李庆丰
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江苏华恒新能源有限公司
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2022-10-18
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2023-01-10
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C30B31/06
- 本发明公开了一种扩散炉用排气装置，包括用于吸收扩散炉尾气中热量的储水箱，所述储水箱内固定有若干个用于处理扩散炉尾气的吸收瓶，若干个吸收瓶依次连通；所述储水箱侧壁上设置有与扩散炉尾气排管连通的进气管和用于排放处理后尾气的排气管；扩散炉尾气依次通过若干个所述吸收瓶进行多级处理；其中，每一个所述吸收瓶均盛载有用于处理扩散炉尾气吸收液，储水箱下方固定有用于收集吸收瓶内废旧吸收液的废液收集机构。本发明能够对扩散炉尾气进行多级过滤后再排放，过滤彻底，绿色环保，同时能够回收尾气中的热能，节省能源，便于收集吸收液废液，操作简单，省时省力，大大提高工作效率。
- 一种扩散排气装置
- [实用新型]一种扩散硅片加热炉管内疏导气流的挡片-CN202222005286.5有效
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刘谦;魏兴政
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济南兰星电子有限公司
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2022-08-01
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2022-11-04
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C30B31/06
- 本实用新型属于半导体器件生产技术应用设备领域，尤其涉及一种扩散硅片加热炉管内疏导气流的挡片，包括底板，所述底板内的上方设置有呈L型设计的载板，所述载板上方设置有可移动的立挡气板，且其两端呈波浪状设计，所述立挡气板下端设置有呈L形设计的衔接卡块，且与T形槽相适配，所述立挡气板内开设有导流孔，所述导流孔由两个呈锥形台状的孔镜像排布构成，所述底板两侧边角处内也开设有呈T形状设计的连接孔，所述连接孔内设置有锁紧螺栓，且贯穿连接孔抵在衔接卡块上，远离所述推拉孔的底板一端设置有锁紧板。本实用新型设计合理、结构简单、加工方便且能够保障气流稳定性，路径均匀，发散效果好，进而稳定硅片电性、改善扩散片的一致性。
- 一种扩散硅片加热炉管疏导气流
- [实用新型]一种扩散均匀且高效的扩散炉-CN202221751707.2有效
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刘明利;王佩佩;周文智
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青岛赛尔科技有限公司
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2022-07-08
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2022-09-27
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C30B31/06
- 本实用新型公开了一种扩散均匀且高效的扩散炉，包括炉体，所述炉体的底部一侧固定连接有固定板，所述固定板远离炉体的一端固定连接有壳体，所述壳体的底部固定安装有电机，所述炉体与壳体之间共同安装有传动组件，且传动组件与电机的驱动轴之间相连接，所述炉体的内部安装有旋转组件，且旋转组件与传动组件之间相连接，所述旋转组件的活动端安装有布气组件。本实用新型中，通过设置的电机、传动组件、旋转组件和布气组件，可以均匀且快速的将扩散源气体分布到炉体内，避免出现一侧浓度高一侧浓度低的问题，使得炉体内部硅片的反应速度和扩散速度接近，不仅提高了硅片的扩散效率，同时也提高了硅片的良品率。
- 一种扩散均匀高效
- [发明专利]一种硼扩散反应系统及其工艺方法-CN202210744882.7在审
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郭艳;周继承;刘文峰
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中南大学
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2022-06-27
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2022-09-23
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C30B31/06
- 本发明提供一种硼扩散反应系统及其工艺方法，硼扩散反应系统的原料管路与进气管路相连接，通过进气管路向反应炉管内输送原料气体；抽气管设置在反应炉管的炉尾处，抽气管位于反应炉管的管轴线位置；进气管路包括第一进气管路和第二进气管路，第一进气管路和第二进气管路的出气口位于炉口处，且第一进气管路和第二进气管路的出气口在反应炉管的竖直方向中分面内上下对称分布。本发明的供气系统结合工艺方法，通过优化硼源管道设置和工艺步骤，通过多次吹扫步骤，尤其是有氧推进后回压前具有吹扫步骤，减少粘附在反应室内壁上酸性气体，降低酸性气体对反应室的污染，提高了方阻均匀性、钝化效果、电池片电性能参数和良率。
- 一种扩散反应系统及其工艺方法
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