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[发明专利]晶片处理设备-CN202011549164.1有效
发明人： 郭世根;李亭亭;项金娟;蒋浩杰;田光辉;熊文娟 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C30B31/10 文献下载
摘要：本申请属于半导体制造技术领域，具体涉及一种晶片处理设备。本申请的晶片处理设备包括反应室、连通管和挡板，连通管设于反应室的外部，用于连通反应室的内部与真空抽气装置，挡板设于连通管的内部，用于对流经连通管的部分气流进行遮挡，挡板上设有至少一个贯穿挡板的通气口。根据本申请的晶片处理设备，通过在挡板上设置通气口并通过挡板对流经连通管的部分气流进行遮挡，能够有效地减少抽气过程中的气流流量，从而减少反应室内反应气体的充入量，增加反应气体在反应室内的停留时间，降低生产成本。
晶片处理设备

[发明专利]一种具有缓冲能力的减振液压缸-CN202210565068.9有效
发明人：郭斌;郭世根 -专利权人：马鞍山市天成液压机械制造有限公司
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： F15B15/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有缓冲能力的减振液压缸，包括缸筒和连通设置在缸筒上壁的第一通油口和第二通油口，所述缸筒的末端密封设有缸盖，所述缸筒的另一端固定设有缸底，所述缸筒内滑动设有活塞，所述活塞处贯穿设有活塞杆，所述活塞杆的末端固定设有耳环，所述耳环在缸筒外设置，所述活塞的侧壁上固定设有耐磨环，所述活塞和缸筒的侧壁之间设有密封圈；本发明涉及液压缸技术领域；该具有缓冲能力的减振液压缸，通过密封气体的压缩，对活动板移动受到的阻力逐渐增大，从而实现对活塞进行缓冲，且该过程中通过挤压密封气体进行缓冲，不会使得缓冲结构产生机械损耗，且能够保证缓冲效果，使得缓冲结构的使用寿命得到保证。
一种具有缓冲能力液压缸

[发明专利]热电偶结构、纵向温度检测装置及纵形扩散炉-CN202111514054.6在审
发明人： 郭世根 -专利权人：成都高真科技有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G01K1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种热电偶结构、纵向温度检测装置及纵形扩散炉，该纵形扩散炉通过将热电偶结构中第一感温部和第二感温部的连接处设置为感温凸起，并将采用该热电偶结构的测温热电偶分别设置于纵向支撑件上的不同纵向位置，以使纵向支撑件上的不同测温热电偶能够利用其独特的感温凸起，近距离测量对应位置的反应室的温度。本发明利用多个具有感温凸起结构的测温热电偶固定设置于纵向支撑件，对纵形扩散炉中设置的不同纵向位置的反应室的温度进行准确测量，进而根据温度测量结果调整对纵形扩散炉进行加热的策略，以实现对纵形扩散炉内温度的均匀控制。
热电偶结构纵向温度检测装置扩散

[实用新型]一种防止泄露的纵形扩散炉-CN202221175955.7有效
发明人： 郭世根 -专利权人：成都高真科技有限公司
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C30B31/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种防止泄露的纵形扩散炉，包括：纵形扩散炉主体，内部形成用于容纳晶舟的反应空间且下方开口；加热装置，设置于纵形扩散炉主体外部；法兰，设在于纵形扩散炉主体下方开口处；其中，法兰中设置有一盖板，用于密封法兰下方，防止反应空间产生的粉末泄露。本实用新型能够有效防止扩散过程中产生的粉末泄露，从而避免在扩散过程频繁发出中止报警，需要工作人员频繁消除运行损坏所产生的时间消耗的问题，同时也能有效减少污染。
一种防止泄露扩散

[实用新型]一种用干液压缸卧式钻床-CN202221476378.5有效
发明人：郭斌;郭峰;郭世根 -专利权人：马鞍山市天成液压机械制造有限公司
申请日： 2022-06-13 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： B23B41/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用干液压缸卧式钻床，涉及卧式钻床应用技术领域，包括操作台板，所述操作台板的顶部靠近两侧边缘处均固定安装有支撑柱。本实用新型中，在使用时，通过上夹板和下夹板的配合对液压缸进行夹持，通过启动电机，使得电机的输出端带动螺纹杆进行转动，从而使得移动块能够进行直线往返运行，进而能够实现两个较短钻头钻深孔的功能，通过启动电动伸缩杆，从而使得支撑杆带动着上夹板和下夹板沿着垂直螺纹杆进行位置调节，防止钻头过长出现抖动，解决了现有技术中对大型的液压缸进行深孔加工时发生抖动从而导致加工完成的深孔位置出现误差、增大了次品率的问题。
一种液压缸卧式钻床

[实用新型]一种用干钻床快速换料工装夹具-CN202221527082.1有效
发明人：郭峰;郭世根;郭斌 -专利权人：马鞍山市天成液压机械制造有限公司
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： B23B47/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用干钻床快速换料工装夹具，涉及干钻床技术领域，包括承接板，所述承接板的顶部固定安装有两个挡板，两个所述挡板相对的一侧活动安装有传送装置。本实用新型中，使用时，将物料放在传送装置上，带动滚动块的转动，再带动旋转柱转动，旋转柱的一端与凹槽板的卡槽相接触，从而带动转动轴转动，引起传送装置的转动，工作人员可根据实际需要拆卸旋转柱，来控制转动轴旋转时间，从而控制物料传送时间，等物料传送到位置时，启动电动升缩杆，带动固定夹移动固定物料，此时其他物料停止传送，恢复传送时间时，固定夹则自动夹取固定下一个物料，从而达到快速换料的效果。
一种钻床快速工装夹具

[实用新型]一种具有冷却水循环系统的线切割设备-CN202221418228.9有效
发明人： 郭世根;郭斌;郭峰 -专利权人：马鞍山市天成液压机械制造有限公司
申请日： 2022-06-08 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： B23H7/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种具有冷却水循环系统的线切割设备，涉及线切割技术领域，包括切割箱，所述切割箱的内部固定有斜板，所述斜板的顶部固定有线切割设备本体，所述线切割设备本体的上安装有切割头，所述切割头的顶部中心处固定有工作台，所述斜板的底部且靠近切割箱一侧壁固定有箱板，所述箱板的内部固定有水泵，所述水泵的底部连通有进水管，所述进水管的另一端贯穿箱板并延伸到箱板内，所述水泵的顶部连通有出水管。本实用新型通过水泵将切割箱内的水从进水管抽进，再通过水泵的输出端喷出，这时水穿过出水管从喷头处喷向切割线上，再通过斜板可以使水流向过滤网并再次进入切割箱内，可以起到水循环使用的效果，从而可以达到节省水资源的作用。
一种具有冷却水循环系统切割设备

[实用新型]一种具有多工位定位可调式多轴钻床-CN202221418317.3有效
发明人： 郭世根;郭斌;郭峰 -专利权人：马鞍山市天成液压机械制造有限公司
申请日： 2022-06-08 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B23B39/16 文献下载
摘要：本实用新型提供一种具有多工位定位可调式多轴钻床，涉及多轴钻床加工技术领域，包括支撑底座，所述支撑底座的顶部靠近两侧均固定安装有支撑板，两个所述支撑板的相对之间固定有固定板，所述固定板的外表面滑动连接有移动块。本实用新型中，在使用时，通过启动第一电机，从而使得第一电机的输出端带动双向丝杆进行转动，进而使两个限位夹板相向移动将金属件夹紧，通过启动电动伸缩杆，使得钻头本体能够对金属件进行钻孔操作，解决了人工手扶待钻孔的金属会导致产品质量受影响以及人手易受到伤害从而增大了安全隐患的问题，通过防滑条的防滑作用，从而使金属件在被夹紧钻孔的过程中不会发生位置偏移。
一种具有多工位定位调式钻床

[发明专利]一种带内置线性位移传感器的近程保压高压重型液压缸-CN202210529934.9在审
发明人：郭斌;郭世根 -专利权人：马鞍山市天成液压机械制造有限公司
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： F15B15/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种带内置线性位移传感器的近程保压高压重型液压缸，包括液压缸本体，所述液压缸本体包括液压缸外壳和液压缸内腔，所述液压缸本体的左侧固定连接有盖合机构，所述液压缸内腔的内侧壁上设置有缓冲机构，本发明涉及液压缸技术领域；该带内置线性位移传感器的近程保压高压重型液压缸，通过第一进油管往液压缸内腔内部灌入液压油，由于控制阀块的外侧设置有导向环和密封块，所以液压油会挤压活塞杆进行移动，直至活塞杆移动到最高位置，通过缓冲块减缓控制阀块对液压缸外壳的冲击力，通过线性位移传感器发射端发射信号，线性位移传感器接收端接收信号，通过外接显示器可以得到液压缸的移动距离。
一种内置线性位移传感器近程高压重型液压缸

[发明专利]一种工程用防爆型伺服液压缸-CN202210593093.8在审
发明人：郭斌;郭世根 -专利权人：马鞍山市天成液压机械制造有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： F15B15/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种工程用防爆型伺服液压缸，包括液压缸本体，所述液压缸本体外侧套接有保护套，所述液压缸本体外侧的两端均设置有进油口和出油口，所述进油口的内部设置有自动卡紧机构，所述液压缸本体的内侧壁上固定连接有缓冲机构，本发明涉及液压缸技术领域；该工程用防爆型伺服液压缸，通过浮块浮在液压油上会带动驱动杆在限位槽的内部滑动，当驱动杆上升时，会通过外侧的齿槽带动齿轮顺时针转动，齿轮顺时针转动会带动推杆往靠近伸缩杆的一侧移动，推杆移动后会带动伸缩杆移动，伸缩杆移动后会带动卡紧块贴合在驱动杆的外侧，且与进油口的内侧壁贴合，从而对进油口进行保护，防止进油口炸裂。
一种工程防爆伺服液压缸

[发明专利]一种高强度工程机械液压缸-CN202210601848.4在审
发明人：郭斌;郭世根 -专利权人：马鞍山市天成液压机械制造有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： F15B15/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种高强度工程机械液压缸，包括缸体和固定设置在缸体末端的缸底，所述缸体的另一端设有密封组件，所述缸体内滑动设有活塞，所述活塞处横向贯穿设有活塞杆，所述活塞杆贯穿密封组件，且活塞杆和密封组件之间为滑动连接，所述缸体的一端固定设有导向块；本发明涉及液压缸技术领域；该高强度工程机械液压缸，能够对活塞杆进行限速，配合缓冲结构，能够有效减小活塞杆的冲击力，同时减小了液压缸产生的噪音；实现了对活塞杆进行缓冲的同时，对滑动圈进行润滑液的添加，无需工作人员拉出活塞杆对滑动圈进行更滑的过程，省时省力，且避免活塞和缸体之间阻力导致噪声过大和产生严重的机械损伤。
一种强度工程机械液压缸

[发明专利]一种新型机械自锁液压缸-CN202210511793.8在审
发明人：郭斌;郭世根 -专利权人：马鞍山市天成液压机械制造有限公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： F15B15/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型机械自锁液压缸，包括缸筒和固定设置在缸筒末端的缸底，所述缸筒远离缸底的一端固定连接有缸盖，所述缸筒内滑动设有活塞，所述活塞的侧壁上固定设有密封圈，所述活塞中间处贯穿固定设有活塞杆，所述缸筒内固定设有导向套，所述导向套靠近缸盖设置，所述活塞杆滑动贯穿导向套，所述缸筒的外壁两端分别连通设有第一油管和第二油管，所述第一油管在靠近缸底的一端；本发明涉及液压缸技术领域；该新型机械自锁液压缸，通过在活塞杆回程时，卡杆能够自动卡接在卡槽内，防止活塞杆的随意滑动，有效实现了液压缸机械自锁的功能，避免液压缸在运输过程中活塞杆滑出导致的损坏的情况发生。
一种新型机械液压缸

[实用新型]一种用于线切割机床的辅助防偏移装置-CN202221527081.7有效
发明人：郭峰;郭世根;郭斌 -专利权人：马鞍山市天成液压机械制造有限公司
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： B23H11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于线切割机床的辅助防偏移装置，涉及线切割加工设备技术领域，包括底板，底板的上表面等距固定连接有三个支撑板，其中两个支撑板的一侧表面均通过螺纹转动连接有限位杆，两个限位杆的一端均固定连接有球轴，两个球轴的外表面均套设有调节块。本实用新型中，将待加工件放置在底板的上表面，通过把手和导力杆旋转两个限位杆，两个限位杆在螺纹的作用下挤压待加工件，使待加工件的一侧表面于其中一个支撑板贴合，两个调节块的一侧表面通过两个球轴调节角度，与待加工件的一侧表面贴合，将待加工件固定，然后对待加工件进行加工作业，可以固定不同角度的待加工件，提高零件的加工范围，三点式固定，固定效果好。
一种用于切割机床辅助偏移装置

[实用新型]一种液压油缸测试平台-CN202221476373.2有效
发明人：郭斌;郭峰;郭世根 -专利权人：马鞍山市天成液压机械制造有限公司
申请日： 2022-06-13 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： F15B19/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种液压油缸测试平台，涉及检测装置技术领域，包括底部支撑板，底部支撑板的上表面固定连接有支撑侧板，其中一个支撑侧板的一侧表面螺纹连接有调节杆。本实用新型中，将液压油缸放置在两个弧形槽之间，再通过两个把手和两个受力杆旋转两个调节杆，使两个调节杆在螺纹的作用下移动，通过两个轴承推动活动件向着其中一个支撑侧板靠近，使两个弧形槽将液压油缸夹持固定，再将导管的一端连通液压油缸，充气泵通过导管将空气导入液压油缸的内部，测试液压油缸的密闭性，测试完成后，取下导管，反向旋转两个调节杆，使两个弧形槽相互远离，取下液压油缸，结构简单，提高了安装和拆卸的速度，提高检测效率。
一种液压油测试平台

[实用新型]一种数控机床的上料机构-CN202221418310.1有效
发明人： 郭世根;郭斌;郭峰 -专利权人：马鞍山市天成液压机械制造有限公司
申请日： 2022-06-08 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： B23Q7/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种数控机床的上料机构，涉及数控机床技术领域，包括传送台，所述传送台外表面的一侧固定安装有多个限位板，所述传送台的正表面通过辅助板固定安装有电机。本实用新型中，当使用时，先打开电机的外部电源，利用电机输出轴带动固定长杆进行转动，带动第一转动圆盘和转动带转动，促使第二转动圆盘旋转，使得带动固定长杆和固定短杆转动，此时带动两个扇形板旋转，当两个扇形板旋转到上方时，会促使两个不规则传送块向上的转动，从而带动连接板向上运动，此时传送夹块顶起限位板右侧的物料向上运动，传送到下一个限位板的右侧，阶梯式上升，从而实现物料从下向上自动传送的效果。
一种数控机床机构

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