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- [实用新型]冷却装置和晶体生长炉-CN202222252038.0有效
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陈俊宏
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徐州鑫晶半导体科技有限公司
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2022-08-25
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2022-12-06
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C30B15/00
- 本实用新型公开了一种冷却装置和晶体生长炉，冷却装置用于对晶体进行冷却，晶体生长炉具有进液管路和出液管路，冷却装置包括第一冷却套和切换组件，第一冷却套内限定出分隔的第一冷却通道和第二冷却通道，第一冷却通道的冷却能力高于第二冷却通道的冷却能力，在第一工作位置下，第一冷却通道适于与进液管路和出液管路均连通、且第二冷却通道适于与进液管路和出液管路均隔断，在第二工作位置下，第二冷却通道适于与进液管路和出液管路均连通、且第一冷却通道适于与进液管路和出液管路均隔断；切换组件用于驱动第一冷却套在第一工作位置和第二工作位置之间切换。根据本实用新型的冷却装置，可以提升晶冠的散热效率。
- 冷却装置晶体生长
- [发明专利]一种用于晶体拉制时的晶体冷却装置-CN202211182774.1在审
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郭李梁;朱振业
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郭李梁;朱振业
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2022-09-27
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2022-12-02
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C30B15/00
- 一种用于晶体拉制时的晶体冷却装置，本发明通过保温板对晶体冷却机构的表面进行保温，有效的避免了挥发物因冷凝现象附着在晶体冷却机构的下面和侧壁上，本发明在实现避免挥发物粘附在晶体冷却机构上的同时，由于保温板的保温作用，避免了因晶体冷却机构下面的低温对其对应坩埚区域的降温，防止晶体冷却机构带走过多的温度，起到了降低加热能耗的作用等，同时，由于保温板的保温作用，使晶体冷却机构内冷却介质的冷却效果完全作用在晶体上提拉孔内孔壁上，进而提高对拉制晶体的冷却效果，实现晶体的快速结晶，起到了提高晶体拉制速度的目的等，适合大范围的推广和应用。
- 一种用于晶体拉制冷却装置
- [发明专利]一种用于同时拉制多根晶体的装置-CN202211182775.6在审
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郭李梁;朱振业
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郭李梁;朱振业
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2022-09-27
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2022-12-02
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C30B15/00
- 一种用于同时拉制多根晶体的装置，本发明通过在晶体冷却机构的下面设置保温板，通过保温板对晶体冷却机构的表面进行保温，有效的避免了挥发物因冷凝现象附着在晶体冷却机构的下面和侧壁上，本发明在实现避免挥发物粘附在晶体冷却机构上的同时，由于保温板的保温作用，避免了因晶体冷却机构下面的低温对其对应坩埚区域的降温，防止晶体冷却机构带走过多的温度，起到了降低加热能耗的作用等，同时，由于保温板的保温作用，使晶体冷却机构内冷却介质的冷却效果完全作用在晶体上提拉孔上，进而提高对拉制晶体的冷却效果，实现晶体的快速结晶，起到了提高晶体拉制速度的目的等。
- 一种用于同时拉制晶体装置
- [实用新型]一种新型单晶炉腔体-CN202221884046.0有效
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桑春峰
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兆默真空设备（上海）有限公司
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2022-07-20
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2022-12-02
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C30B15/00
- 本申请属于单晶炉腔体技术领域，特别涉及一种新型单晶炉腔体，包括下腔体、上腔体和顶盖，下腔体和上腔体之间通过第一法兰密封件进行连接，上腔体和顶盖之间通过第二法兰密封件进行连接，下腔体包括下外壁、第一间隙和下内胆，上腔体包括上外壁、第二间隙和上内胆，顶盖包括顶外壁、第三间隙和顶内胆，下内胆、上内胆和顶内胆三者相连通。通过将体型较大的单晶炉腔体拆分成“下腔体”、“上腔体”和“顶盖”三部分，只需制造体型较小的三部分结构，大大地降低制造单晶炉腔体的难度；通过设计了第一间隙、第二间隙和第三间隙，并分别通入第一冷却液、第二冷却液和第三冷却液，可以加快单晶炉腔体的降温，大大地提高了单晶炉的工作效率。
- 一种新型单晶炉腔体
- [实用新型]一种分体式直拉单晶炉装置-CN202221273246.2有效
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刘海;彭亦奇;王人松;周子义
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连城凯克斯科技有限公司
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2022-05-25
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2022-12-02
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C30B15/00
- 本实用新型公开了一种分体式直拉单晶炉装置，属于光伏技术领域。本实用新型提出的装置包括：炉盖、炉体底座、坩埚、主炉腔体、泄压门以及连接件；其中，主炉腔体与炉盖和炉体底座连接，泄压门安装在主炉腔体上，可以活动打开，通过连接件，泄压门与主炉腔体扣合后形成完整且密封的分体式直拉单晶炉，坩埚安装在分体式直拉单晶炉内。本实用新型通过将完整的一体式直拉单晶炉腔更改为由泄压门和主炉腔体构成的分体式直拉单晶炉腔，当分体式直拉单晶炉中发生爆炸时，炉内压力会迅速升高，泄压门受到压力作用向外打开，高温气流从泄压门处流出，使得炉内压力迅速降低，从而避免了炉盖受压力作用脱离炉体，炉中高温气流逸散，造成人员伤亡的问题。
- 一种体式直拉单晶炉装置
- [实用新型]一种一体化石英导流筒-CN202222275931.5有效
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高峰;高子富;高子豪
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安徽高昌硅碳科技发展有限公司
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2022-08-29
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2022-12-02
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C30B15/00
- 本实用新型公开了一种一体化石英导流筒，属于导流筒技术领域，一种一体化石英导流筒，包括导流筒本体和存放箱，导流筒本体包括有石英内导和石英盖板，石英内导和石英盖板是一体成型结构，石英内导分别设置有上导段、中导段和下导段；本方案一体化技术完美的将石英盖板与石英内导实现了一次成型，解决了由于分体产品空隙而造成的二次污染问题，通过降低了污染源进而大大的净化了拉晶环境，避免污染影响硅棒和硅片的生产品质，极大提高了单晶硅棒的品质。一体化生产石英导流筒的生产时间更短，极大的节省了工厂以及用户的时间成本；同时一体化生产石英导流筒更易实现批量采购，同时通过装卸一体的石英导流筒产品，还可极大提高了工作效率。
- 一种一体化石英导流
- [实用新型]一种新型导流筒-CN202222304310.5有效
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段俊飞;王楠;张宇辉;郭嘉伟;董智慧
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乌海市京运通新材料科技有限公司
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2022-08-30
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2022-12-02
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C30B15/00
- 本实用新型属于单晶硅加工技术领域，尤其涉及一种新型导流筒。本实用新型包括环状的第一导流筒和第二导流筒，所述第一导流筒的外径小于第二导流筒的内径，所述第一导流筒同轴设置于所述第二导流筒的内部，所述第一导流筒和第二导流筒均下部缩口并且一体成型连接；所述第一导流筒的内壁和所述第二导流筒外壁形成环状的容置空间，所述容置空间上端开口、下端封闭，容置空间内填充有用于保温的碳毡。本实用新型防止通过将第一导流筒和第二导流筒一体成型设置，内外导流筒不存在安装缝隙，保温性能更好，同时也能阻隔碳毡粉化后的掉落物，可有效防止掉落物落入熔硅内影响拉晶质量。
- 一种新型导流
- [实用新型]送料机构、加料机及单晶生产系统-CN202222117517.1有效
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汪火成;张国久;石鹏飞
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三一集团有限公司
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2022-08-11
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2022-12-02
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C30B15/00
- 本实用新型涉及单晶硅制备技术领域，提供一种送料机构、加料机及单晶生产系统。送料机构用于设置在加料机内部并向单晶炉添加硅料，送料机构包括：料仓，用于容纳硅料并设有出料口称重装置，支撑料仓并用于检测料仓的重量值；启闭装置，设置于出料口，用于开启和关闭出料口；输送机构，设置于出料口下方，用于承接硅料并向单晶炉输送；控制模块；其中，称重装置和启闭装置均与控制模块连接。如此设置，通过称重装置检测料仓的重量值，能够基于料仓重量值变化量准确地控制料仓排出的硅料量，从而提高送料机构向单晶炉内添加硅料量的准确度，避免加入的硅料量过多或过少，进而提高单晶硅棒的生成质量。
- 机构加料生产系统
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