专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种长晶炉中坩埚旋转高精度控制设备-CN202210790465.6有效
  • 胡动力;王人松;刘海;许星杰 - 连城凯克斯科技有限公司
  • 2022-07-05 - 2023-10-27 - C30B35/00
  • 本发明属于碳化硅生产设备技术领域,具体的说是一种长晶炉中坩埚旋转高精度控制设备,包括坩埚,所述坩埚底端安装有旋转轴,所述旋转轴底端安装有埚转组件,所述埚转组件用以驱动旋转轴进行转动,所述埚转组件外部安装有固定架,所述旋转轴外部固定有连接环,所述连接环外部固定有控制环,所述控制环内部安装有多个转速检测组件,所述转速检测组件用以实时检测旋转轴的转速;通过埚转组件带动旋转轴进行转动,旋转轴转动从而带动坩埚转动从而对碳化硅晶体进行生长作业,在旋转轴转动的过程中,转速检测组件可以实时检测旋转轴的转速,便于对旋转轴的转速精确控制,从而达到了高精度控制转速的效果。
  • 一种长晶炉中坩埚旋转高精度控制设备
  • [实用新型]一种籽晶旋转测温提升机构-CN202223524298.5有效
  • 胡动力;王人松;贾新旺;黄新刚 - 连城凯克斯科技有限公司
  • 2022-12-28 - 2023-10-27 - C30B15/30
  • 本实用新型公开了一种籽晶旋转测温提升机构,它涉及碳化硅炉籽晶提升结构技术领域;所述安装板上固定安装有定制磁流体和一对称重传感器,所述定制磁流体的上端固定安装有连接环,所述连接环的上端固定安装有水滑环,所述水滑环上安装有旋转驱动组件,所述籽晶轴通过轴承活动穿插安装在安装板、定制磁流体、连接环、旋转驱动组件和水滑环的内腔中,所述水滑环的侧边固定安装有微动平台,所述微动平台上固定安装有红外测温仪;它在液相法碳化硅炉上使用了籽晶提升和旋转机构,虽然集多种功能于一体,但是结构上并不繁杂,做到了结构轻巧紧凑,它在旋转提升的基础上能够实时给籽晶测温和称重的功能,利于提高碳化硅结晶成品的质量。
  • 一种籽晶旋转测温提升机构
  • [实用新型]一种液相法多感应线圈升降机构-CN202320134651.4有效
  • 王人松;胡动力;石海洋;黄新刚 - 连城凯克斯科技有限公司
  • 2023-01-13 - 2023-10-27 - C30B29/36
  • 本实用新型公开了一种液相法多感应线圈升降机构,它涉及碳化硅感应炉加热结构技术领域;所述炉下盖的内侧固定安装有四根导向杆,所述导向杆上套接安装有导向轮,所述导向杆的上端与上线圈保持固定连接,所述下线圈组件安装在导向杆的内侧,且导向轮通过侧向顶压与下线圈组件保持连接,所述坩埚组件安装在下线圈组件的内侧;本实用新型通过2组感应线圈灵活控制热场,其中下线圈还能随拉晶阶段的不同做升降,同时热场中间用来拉晶的坩埚也可以根据需要旋转和升降,本实用新型通过坩埚的升降结合热场的升降,能更好的控制热场梯度,改善热场内部环境,对长晶的控制做到更灵活,使长出的碳化硅成品质量更好,品质更高。
  • 一种液相法多感应线圈升降机构
  • [发明专利]一种籽晶旋转测温提升机构-CN202211707906.8在审
  • 胡动力;王人松;贾新旺;黄新刚 - 连城凯克斯科技有限公司
  • 2022-12-28 - 2023-09-22 - C30B29/36
  • 本发明公开了一种籽晶旋转测温提升机构,它涉及碳化硅炉籽晶提升结构技术领域;所述安装板上固定安装有定制磁流体和一对称重传感器,所述定制磁流体的上端固定安装有连接环,所述连接环的上端固定安装有水滑环,所述水滑环上安装有旋转驱动组件,所述籽晶轴通过轴承活动穿插安装在安装板、定制磁流体、连接环、旋转驱动组件和水滑环的内腔中,所述水滑环的侧边固定安装有微动平台,所述微动平台上固定安装有红外测温仪;它在液相法碳化硅炉上使用了籽晶提升和旋转机构,虽然集多种功能于一体,但是结构上并不繁杂,做到了结构轻巧紧凑,它在旋转提升的基础上能够实时给籽晶测温和称重的功能,利于提高碳化硅结晶成品的质量。
  • 一种籽晶旋转测温提升机构
  • [发明专利]一种碳化硅生产用预警装置及其使用方法-CN202210487652.7有效
  • 高树良;王人松;刘海;陈湘伟 - 连城凯克斯科技有限公司
  • 2022-05-06 - 2023-09-22 - G08B21/18
  • 本发明属于碳化硅生产技术领域,具体的说是一种碳化硅生产用预警装置及其使用方法,包括反应炉,所述反应炉内部贯通连接有提拉杆,所述反应炉内部固定有多个预警环,所述预警环内部固定有多个导温块,所述预警环内部且位于导温块的外部开设有储气仓,所述储气仓两侧均滑动连接有挤压塞,所述挤压塞外部固定有检测环,所述检测环外部滑动连接有变阻器,所述变阻器与预警环固定连接;通过设置预警环,当反应炉内的温度出现变化时预警环内的温度也会同时出现变化,当反应炉内的温度出现变化不均时储气仓内的压强出现差异从而使得变阻器的阻值发生改变,进而进行报警,避免继续冷却对碳化硅造成损坏。
  • 一种碳化硅生产预警装置及其使用方法
  • [发明专利]一种温场均匀的碳化硅立式合成炉-CN202210561656.5有效
  • 王人松;高树良;胡动力;廖亚 - 连城凯克斯科技有限公司
  • 2022-05-23 - 2023-09-22 - C01B32/984
  • 本发明属于碳化硅合成领域,具体的说是一种温场均匀的碳化硅立式合成炉,包括石墨坩埚;所述石墨坩埚的侧壁安装有外壳;所述外壳的内部固接有电推杆;所述电推杆的输出端固接有支撑架;通过设置的环绕线圈连接中频感应电源供电,实现环绕线圈感应加热线圈的功率调整,配合电推杆带动上下滑动对石墨坩埚的侧壁加热,起到对外壳内部温场控制均衡的作用,并且依靠在环绕线圈的表面涂覆耐热涂层,并包裹环绕线圈,降低高温对环绕线圈的灼伤,同时利用温度传感器对外壳内部温度监测,温度过高时使警报灯发出警报,提醒工人打开密封塞使外壳内部快速散热,把控温场的均匀性。
  • 一种均匀碳化硅立式合成
  • [发明专利]一种提高真空密封控制精度的合成炉-CN202210735126.8有效
  • 刘海;王人松;李占贤;姚逸枫 - 连城凯克斯科技有限公司
  • 2022-06-27 - 2023-08-04 - F27B17/00
  • 本发明属于碳化硅制备技术领域,具体的说是一种提高真空密封控制精度的合成炉,包括合成炉本体,所述合成炉本体外部安装有检测壳体,所述合成炉本体内部贯通连接有多个检测塞,所述检测塞远离合成炉本体的一端固定有传动板,所述传动板远离检测塞的一端固定有导动杆,所述导动杆远离传动板的一端固定有滑动拨片,所述滑动拨片外部滑动连接有变阻器;通过气压带动检测塞滑动,进而带动滑动拨片在变阻器内滑动改变变阻器在电路中的阻值,通过对变阻器阻值的监测即可实时的监测到合成炉本体内部的真空度情况,而通过设置多个变阻器即可自多个不同方位对合成炉本体真空度情况进行判定,达到提高真空密封控制精度的效果。
  • 一种提高真空密封控制精度合成
  • [发明专利]一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备-CN202210790463.7有效
  • 刘海;王人松;刘建永 - 连城凯克斯科技有限公司
  • 2022-07-05 - 2023-08-04 - G05D7/06
  • 本发明属于控制设备技术领域,具体的说是一种碳化硅生产时保护气体流量控制设备,包括壳体;所述壳体侧壁上设置有连接套,所述连接套的内部设有封堵板,所述封堵板的内部设有转柱,所述连接套端部安装有电机,所述电机的输出端通过转轴与转柱端部相连,所述转柱的侧壁上开设有若干组导气槽;本发明能够通过控制转柱顺时针转动,控制其侧壁的导气槽与进气管的连通面积,从而能够根据现场的充注需求,合理的控制气体的流量,同时通过设置设备的安装位置,实现快速与精准“断气”的效果,且残留在进气管中的气体也不会外流至壳体中,使得壳体中的保护气在充注时更准确,提高了后续炉体对碳化硅的加工质量。
  • 一种碳化硅生产保护气体流量控制设备
  • [实用新型]一种石英筒炉室密封结构-CN202223258563.X有效
  • 黎志欣;胡动力;刘陈亚;严翔;叶锋;刘华;王人松 - 连城凯克斯科技有限公司
  • 2022-12-05 - 2023-03-31 - F16J15/06
  • 本实用新型公开了一种石英筒炉室密封结构,包括互相套接的石英外筒和石英内筒,所述石英内筒的顶部依次由上到下套接有密封法兰一、密封法兰二、密封法兰三和密封法兰四,所述密封法兰一与密封法兰二、密封法兰二与密封法兰三、密封法兰三与密封法兰四之间均设置有O型圈,所述密封法兰一与密封法兰二之间设置有垂直的内六角圆柱螺栓。本实用新型通过依次设置的四层密封法兰,并列在相邻的两个密封法兰之间设置有的O型圈,再利用内六角圆柱螺栓进行固定,从而达到对石英内筒和石英外筒的密封,密封性能极佳。
  • 一种石英筒炉室密封结构
  • [实用新型]一种电阻炉用坩埚轴传动机构-CN202221019503.X有效
  • 王人松;贾新旺 - 大连连城数控机器股份有限公司
  • 2022-04-22 - 2022-12-06 - C30B29/36
  • 本实用新型涉及半导体设备技术领域,尤其涉及一种电阻炉用坩埚轴传动机构。该电阻炉用坩埚轴传动机构,由于设有升降组件和旋转驱动组件,进而可以带动磁流体上的坩埚轴转动以及升降运动,通过设置与坩埚轴连通的水滑环,可对坩埚轴进行冷却,同时由于设置了水滑环本身,避免了水管的掉落保证了坩埚轴冷却的可靠性,由于设置了测温计并对应的在水滑环的内部开设了第二通孔,测温计依次透过第二通孔、透明端盖、和坩埚轴的中心通孔以测量坩埚的温度,由此该电阻炉用坩埚轴传动机构同时实现了升降旋转、水冷以及中心通孔测温的功能。
  • 一种电阻炉坩埚传动机构
  • [实用新型]一种分体式直拉单晶炉装置-CN202221273246.2有效
  • 刘海;彭亦奇;王人松;周子义 - 连城凯克斯科技有限公司
  • 2022-05-25 - 2022-12-02 - C30B15/00
  • 本实用新型公开了一种分体式直拉单晶炉装置,属于光伏技术领域。本实用新型提出的装置包括:炉盖、炉体底座、坩埚、主炉腔体、泄压门以及连接件;其中,主炉腔体与炉盖和炉体底座连接,泄压门安装在主炉腔体上,可以活动打开,通过连接件,泄压门与主炉腔体扣合后形成完整且密封的分体式直拉单晶炉,坩埚安装在分体式直拉单晶炉内。本实用新型通过将完整的一体式直拉单晶炉腔更改为由泄压门和主炉腔体构成的分体式直拉单晶炉腔,当分体式直拉单晶炉中发生爆炸时,炉内压力会迅速升高,泄压门受到压力作用向外打开,高温气流从泄压门处流出,使得炉内压力迅速降低,从而避免了炉盖受压力作用脱离炉体,炉中高温气流逸散,造成人员伤亡的问题。
  • 一种体式直拉单晶炉装置
  • [发明专利]一种碳化硅生产时温度自动检测调控设备-CN202210851967.5在审
  • 刘海;王人松;刘建永 - 连城凯克斯科技有限公司
  • 2022-07-19 - 2022-11-22 - C30B15/20
  • 本发明属于半导体技术领域,具体的说是一种碳化硅生产时温度自动检测调控设备,包括坩埚体和加热线圈;所述坩埚体的下方底板两侧设有温度调控机构;所述温度调控机构包括两个矩形壳,矩形壳对称固接在底板的上表面两侧,矩形壳内设有陶瓷材质的螺杆,螺杆的上端转动贯穿矩形壳上端,螺杆的下端转动贯穿矩形壳,并转动贯穿底板,螺杆的外圈上传动连接有多个升降块,升降块侧壁固接连接板的一端,连接板的另一端贯穿矩形壳侧壁上开设的矩形状的窗口,并固接环形状的加热线圈,加热线圈套设在坩埚体上;所述窗口两侧各设有多个辐射测温仪表,辐射测温仪表的探头指向坩埚体外表面。
  • 一种碳化硅生产温度自动检测调控设备
  • [发明专利]一种炉底盘及坩埚自动升降控制设备-CN202210636782.2在审
  • 刘海;高树良;王人松 - 连城凯克斯科技有限公司
  • 2022-06-07 - 2022-10-11 - C30B29/06
  • 本发明属于碳化硅生产设备领域,具体的说是一种炉底盘及坩埚自动升降控制设备,包括长晶炉体;所述长晶炉体的顶部安装有长晶炉盖;所述长晶炉体的内部安装有驱动电机;所述驱动电机设置在靠近长晶炉体底部的位置处;所述驱动电机的输出端固接有驱动轴;通过驱动电机带动驱动轴转动,进而可使得驱动轴带动第一齿轮转动,从而可通过第一齿轮带动第二齿轮转动,进而使得第二齿轮与螺纹杆的螺纹相互配合,进而带动升降炉底板上下移动的结构设计,实现了可使得升降炉底板带动坩埚移动到长晶炉体内部温度相适应位置处的功能,有效的解决了长晶炉体内部的温度分布不均匀,容易对晶体的生长造成影响的问题。
  • 一种底盘坩埚自动升降控制设备
  • [发明专利]一种分体式直拉单晶炉泄压方法-CN202210577422.X在审
  • 刘海;彭亦奇;王人松;周子义 - 连城凯克斯科技有限公司
  • 2022-05-25 - 2022-09-23 - C30B15/00
  • 本发明公开了一种分体式直拉单晶炉泄压方法,属于光伏技术领域。本发明提出的方法为:首先,利用连接件将泄压门与主炉腔体扣合锁紧;泄压门安装在分体式直拉单晶炉的主炉腔体上,通过连接件与主炉腔体扣合锁紧后形成完整且密封的分体式直拉单晶炉;然后,通过分体式直拉单晶炉进行直拉法制备单晶;之后,当分体式直拉单晶炉中发生爆炸时,主炉腔体中的压力增高,泄压门受压力作用向外打开,高温气体流出,使得主炉腔体中的压力迅速降低。本发明通过将完整的一体式直拉单晶炉腔更改为由泄压门和主炉腔体构成的分体式直拉单晶炉腔,当炉体发生爆炸,泄压门可以迅速打开泄压,从而避免了炉盖脱离炉体,炉中高温气流逸散,造成人员伤亡的问题。
  • 一种体式直拉单晶炉泄压方法

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