[实用新型]改善放电均匀性的电极结构及气体激光器有效
| 申请号： | 202223216483.8 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN219086440U | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 姜鑫先;吴劲松;王雏艳;张晓录;刘斌;徐向宇 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/038 | 分类号： | H01S3/038;H01S3/034 |
| 代理公司： | 北京融智邦达知识产权代理事务所(普通合伙) 11885 | 代理人： | 吴强 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济技*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改善 放电 均匀 电极 结构 气体 激光器 | ||
1.一种改善放电均匀性的电极结构，其特征在于，包括：本体（10），本体（10）表面均匀布设有多个凸起结构（11）或凹陷结构（12）;
所述凸起结构（11）为柱状凸起或者球面凸点；或者，所述凸起结构（11）为线状分布，包括若干条均匀间隔布设的长条状凸起；
所述凹陷结构（12）为点状分布，包括多个均匀布设的弧形凹坑；或者，所述凹陷结构（12）为线状分布，包括若干条均匀间隔布设的长条状凹槽；凹槽的横截面形状为弧形。
2.根据权利要求1所述的电极结构，其特征在于，所述柱状凸起的直径为10um-1mm，凸起高度为1um-3mm，相邻两个柱状凸起的间距为20um-10mm。
3.根据权利要求1所述的电极结构，其特征在于，所述球面凸点根部直径为10um-1mm，球面凸点为1um-3mm，相邻两个柱状凸起的间距为20um-10mm。
4.根据权利要求1所述的电极结构，其特征在于，所述长条状凸起横截面为矩形或圆弧形；所述长条状凸起根部的宽度为10um-1mm，所述长条状凸起的高度为1um-3mm，相邻两个所述长条状凸起间距为20um-10mm。
5.根据权利要求4所述的电极结构，其特征在于，所述凸起结构（11）为网格状分布，包括两组相互垂直交叉布设的长条状凸起组，每个长条状凸起组包括若干条均匀间隔布设的所述长条状凸起。
6.根据权利要求1所述的电极结构，其特征在于，所述凹坑的深度为1um-3mm，所述凹坑口沿处的直径为10um-1mm，所述凹坑的间距为20um-10mm。
7.根据权利要求1所述的电极结构，其特征在于，所述凹槽的深度为1um-3mm，所述凹槽口沿处的宽度为10um-1mm，所述凹槽的间距为20um-10mm。
8.根据权利要求7所述的电极结构，其特征在于，所述凹陷结构（12）为网格状分布，包括两组相互垂直交叉布设的长条状凹槽组，每个长条状凹槽组包括若干条均匀间隔布设的所述长条状凹槽。
9.一种气体激光器，包括设置于放电腔中的电极，其特征在于，所述电极包括如权利要求1-8中任意一项的所述电极结构。
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