[发明专利]电感元件的质量检测方法和装置、电子设备和存储介质

说明书

本发明实施例提供一种电感元件的质量检测方法和装置、电子设备和存储介质。方法包括：获取待测图像；根据模板图像上的感兴趣区域确定待测图像中与感兴趣区域相对应的感兴趣焊盘区域的位置，模板图像是标记有感兴趣区域的位置信息的电感元件图像，感兴趣区域是感兴趣的焊盘部分所在的区域，感兴趣焊盘区域包含与感兴趣的焊盘部分相对应的目标焊盘部分，感兴趣区域和感兴趣焊盘区域各自包括多个子区域，每个子区域具有对应的检测标准；在感兴趣焊盘区域内确定焊线所在的焊线区域；根据焊线区域在多个子区域中的每个子区域内的分布情况及每个子区域对应的检测标准，确定焊线在目标焊盘部分上的位置是否合格。这种方案稳定准确，无需复杂的参数设置。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，更具体地涉及一种电感元件的质量检测方法、一种电感元件的质量检测装置、一种电子设备和一种存储介质。

背景技术

当前人们对产品的质量要求越来越高，对应生产厂家而言，如何提高产品的出货质量，减少终端客诉成为一种迫切的需求。由于产品的形态千变万化，结构复杂不一，因此对产品的检测设备也有了更高标准的要求。

机器视觉是一个快速发展的朝阳行业，视觉检测设备已经在制造业各个领域各个生产环节得到广泛的应用。视觉检测设备利用相机采集包含产品的图像并利用视觉检测算法对图像进行分析处理，进而判断产品质量。

近年来我国半导体行业发展迅速，电容电阻电感(LCT)元件的需求量剧增，对于其质量检测的要求也越来越高。其中，电感元件在不同的电路系统中起着阻流、变压、调谐、分频等等作用，其质量好坏直接决定其性能的优劣。

线圈是电感元件的重要组成部分，针对焊盘上的线圈部分(下文将焊盘上的线圈部分统称为线材或焊线)在焊盘上的位置检测亦是电感元件生产过程中的重要卡控指标。关于位置检测，一般都是计算目标对象(在针对焊线的位置检测中指目标焊线)相对基准的位置关系进行判断。常规的位置检测通常需要提取产品(在针对焊线的位置检测中指电感元件)的边缘(如将产品的焊盘区域整体提取)亦或是针对产品的边缘进行边缘拟合，并根据目标焊线相对于边缘的位置距离进行判断。然而，由于产品的焊盘区域的形状并不规则，以及一些复杂的背景干扰(如盖板偏移)，无论是边缘拟合还是提取焊盘区域均会造成一定的误判，而且效率低下，在高速需求下很难适用。

发明内容

考虑到上述问题而提出了本发明。本发明提供了一种电感元件的质量检测方法、电子设备和存储介质。

根据本发明一方面，提供了一种电感元件的质量检测方法，包括：获取待测图像，待测图像包含待测电感元件；根据模板图像上的感兴趣区域确定待测图像中与感兴趣区域相对应的感兴趣焊盘区域的位置，其中，模板图像是标记有感兴趣区域的位置信息的电感元件图像，感兴趣区域是感兴趣的焊盘部分所在的区域，感兴趣焊盘区域包含与感兴趣的焊盘部分相对应的目标焊盘部分，感兴趣区域和感兴趣焊盘区域各自包括多个子区域，每个子区域具有对应的检测标准，感兴趣焊盘区域中的多个子区域与感兴趣区域中的多个子区域一一对应；在感兴趣焊盘区域内确定焊线所在的焊线区域；根据焊线区域在感兴趣焊盘区域中的多个子区域中的每个子区域内的分布情况以及每个子区域对应的检测标准，确定焊线在目标焊盘部分上的位置是否合格。

示例性地，根据焊线区域在感兴趣焊盘区域中的多个子区域中的每个子区域内的分布情况以及每个子区域对应的检测标准，确定焊线在目标焊盘部分上的位置是否合格，包括：对于任一子区域，将焊线区域与该子区域求交集；根据交集结果以及该子区域对应的检测标准，判断焊线在该子区域内的位置是否合格，获得与该子区域相对应的判断结果；综合与感兴趣焊盘区域中的多个子区域分别对应的判断结果，确定焊线在目标焊盘部分上的位置是否合格。