[发明专利]一种具有微通道结构的激光器冷却热沉在审
申请号: | 202210955276.X | 申请日: | 2022-08-10 |
公开(公告)号: | CN115360567A | 公开(公告)日: | 2022-11-18 |
发明(设计)人: | 王建磊;周军;陈卫标 | 申请(专利权)人: | 南京先进激光技术研究院;中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | H01S3/04 | 分类号: | H01S3/04;H01S3/042 |
代理公司: | 南京睿之博知识产权代理有限公司 32296 | 代理人: | 杨晓玲 |
地址: | 210038 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 通道 结构 激光器 冷却 | ||
1.一种具有微通道结构的激光器冷却热沉,其特征在于,包括微通道热沉工作端(1)、微通道散热加强端(2)和热沉底座(3),微通道热沉工作端(1)与微通道散热加强端(2)依次设置在热沉底座(3)内,微通道热沉工作端(1)的工作面与激光晶体冷却面贴合在一起,微通道热沉工作端(1)与微通道散热加强端(2)的配合面之间通过交错设置的散热肋压合形成所述的微通道结构,在热沉底座(3)上开设有与微通道结构连通的进液孔和出液孔。
2.根据权利要求1所述的一种具有微通道结构的激光器冷却热沉,其特征在于,所述微通道结构包括设置在微通道热沉工作端(1)的散热面上的第一散热肋(5)以及设置的微通道散热加强端(2)上的第二散热肋(6),相邻的第一散热肋(5)之间形成与第一散热肋(5)高度一致的第一散热槽(7),相邻的第二散热肋(6)之间形成第二散热肋(6)高度一致的第二散热槽(8),第一散热槽(7)的宽度大于第二散热肋(8)的宽度,第二散热槽(8)的宽度大于第一散热肋(5)的宽度,第一散热肋(5)与第二散热肋(6)交错设置,第一散热肋(5)插入第二散热槽(8)内,第二散热肋(6)插入第一散热槽(7)内,在第一散热肋(5)与第二散热槽(8)之间以及第二散热肋(6)与第一散热槽(7)之间形成用于冷却液流通的微通道(9)。
3.根据权利要求2所述的一种具有微通道结构的激光器冷却热沉,其特征在于,所述第一散热肋(5)宽度为第一散热槽(7)宽度的一半,第二散热肋(6)宽度为第二散热槽(8)宽度的一半,第一散热肋(5)宽度与第二散热肋(6)宽度相等。
4.根据权利要求2所述的一种具有微通道结构的激光器冷却热沉,其特征在于,所述第二散热肋(6)的高度大于第一散热肋(5)的高度,第二散热肋(6)的端部与第一散热槽(7)的槽底借助导热金属填充层(4)相抵接,第二散热肋(6)与第一散热肋(5)高度的差值为0.3mm,所述导热金属填充层(4)采用10μm镀金层或10μm铟箔层。
5.根据权利要求1所述的一种具有微通道结构的激光器冷却热沉,其特征在于,所述微通道热沉工作端(1)采用与激光增益介质热膨胀系数接近的高导热率金属材质,微通道散热加强端(2)的材质与所述的微通道热沉工作端(1)的材质相同。
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