[发明专利]一种量子点层制备方法以及发光器件的制备方法在审
申请号: | 202111424007.2 | 申请日: | 2021-11-26 |
公开(公告)号: | CN114122276A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 姜茂成 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人: | 吴雪 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 量子 制备 方法 以及 发光 器件 | ||
1.一种量子点层制备方法,其特征在于,包括:
在基板上形成量子点层,所述量子点层中的量子点具有第一配体;
依次通过曝光、显影工艺对所述量子点层进行图形化,所述显影工艺使用的显影液包含活性分子,其中,所述活性分子与所述量子点的结合力大于所述第一配体与所述量子点的结合力,且所述活性分子在所述显影液中的溶解度大于所述第一配体在所述显影液中的溶解度。
2.根据权利要求1所述的量子点层制备方法,其特征在于,所述显影工艺还包括:采用所述显影液对所述量子点层进行显影,以将目标区域内所述量子点的所述第一配体与所述活性分子进行配体交换,键合出以所述活性分子作为第二配体的量子点,所述量子点可溶解于所述显影液。
3.根据所述权利要求2所述的量子点层制备方法,所述活性分子的极性与所述第一配体的极性相反。
4.根据权利要求1所述的量子点层制备方法,其特征在于,所述在基板上形成量子点层,所述量子点层中的量子点具有第一配体的步骤之后,所述方法还包括:
按照如下标准选择活性分子,所述活性分子与所述量子点的结合力大于所述第一配体与所述量子点的结合力,且所述活性分子在所述显影液中的溶解度大于所述第一配体在所述显影液中的溶解度;
将所述活性分子与所述显影液混合均匀。
5.根据权利要求1所述的量子点层制备方法,其特征在于,所述采用所述显影液对所述量子点层进行显影的步骤还包括:
将所述量子点层浸泡于所述显影液中预设时长。
6.根据权利要求4所述的量子点层制备方法,其特征在于,所述活性分子占所述显影液的质量分数为1-70%。
7.根据权利要求1所述的量子点层制备方法,其特征在于,所述第一配体和/或所述活性分子包括但不限于氧配位、氮配位、膦配位或硫配位。
8.根据权利要求7所述的量子点层制备方法,其特征在于,所述第一配体和/或所述活性分子包括但不限于油酸、油胺、吡咯或十二硫醇。
9.一种发光器件的制备方法,其特征在于,所述方法包括:
提供一个基板;
在所述基板上形成阳极;
在所述阳极上依次形成空穴注入层和空穴传输层;
在所述空穴传输层上采用如权利要求1-8中任一项所述的量子点制备方法依次制备出三种颜色的量子点层;
在所述量子点层上依次形成电子传输层和电子注入层;
在所述电子注入层上形成阴极。
10.根据权利要求9所述的发光器件的制备方法,其特征在于,在所述空穴传输层上依次制备出三种颜色的量子点层的步骤之前,所述方法还包括:在所述空穴传输层上形成电子阻挡层。
11.根据权利要求9所述的发光器件的制备方法,其特征在于,在所述量子点层上依次形成电子传输层和电子注入层之前,还包括:在所述量子点层上形成空穴阻挡层。
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