[发明专利]一种模具、坩埚及晶体生长装置在审
申请号: | 202110302410.1 | 申请日: | 2021-03-22 |
公开(公告)号: | CN113026091A | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 齐红基;王晓亮 | 申请(专利权)人: | 杭州富加镓业科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;C30B15/10;C30B29/16 |
代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 谢松 |
地址: | 311400 浙江省杭州市富*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 模具 坩埚 晶体生长 装置 | ||
1.一种模具,用于晶体生长,其特征在于,包括:
模具本体,所述模具本体内设置有第一熔体通道;
延伸部,所述延伸部设置于所述模具本体的底部,所述延伸部内设置有第二熔体通道;
其中,所述第二熔体通道与所述第一通体通道连通。
2.根据权利要求1所述的模具,其特征在于,所述模具还包括:
支撑部,所述支撑部设置于所述模具本体的底部;
所述支撑部的高度大于所述延伸部的高度。
3.根据权利要求2所述的模具,其特征在于,所述支撑部的高度与所述延伸部的高度之差为预设阈值,所述预设阈值为0.01-1mm。
4.根据权利要求1所述的模具,其特征在于,所述第一熔体通道贯穿所述模具本体的顶部和所述模具本体的底部;和/或,
所述第二熔体通道贯穿所述延伸部的顶部和所述延伸部的底部。
5.根据权利要求1所述的模具,其特征在于,所述延伸部的数量为1个;和/或,
所述延伸部位于所述模具本体的底部的中间位置。
6.根据权利要求1所述的模具,其特征在于,所述延伸部包括:
基部,所述基部与所述模具本体连接;
所述基部的长度为所述模具本体的长度的1/10-1/3。
7.根据权利要求6所述的模具,其特征在于,所述延伸部还包括:
扩展部,所述扩展部设置在所述基部的底部;
所述扩展部的长度为所述基部的长度的1/10-1/3。
8.根据权利要求1-7任一项所述的模具,其特征在于,
所述模具为铱模具或铱合金模具。
9.一种坩埚,其特征在于,包括:
坩埚本体;
如权利要求1-8任意一项所述的模具;
所述模具位于所述坩埚本体内。
10.一种晶体生长装置,其特征在于,包括:
如权利要求1-8中任一项所述的模具或如权利要求9所述的坩埚。
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