[发明专利]引晶功率确定方法、装置和计算机可读介质

说明书

本申请提供了引晶功率确定方法、装置和计算机可读介质，该引晶功率确定方法包括：获取直拉单晶炉在当前炉次的熔料阶段的特征数据，其中，所述特征数据用于表征所述直拉单晶炉在熔料阶段内炉内温度与加热器能量输出值的关系；将所述特征数据输入功率预测模型，获得所述功率预测模型的输出，并将所述功率预测模型的输出确定为所述当前炉次的引晶功率，其中，所述功率预测模型通过所述直拉单晶炉的历史生产数据训练获得。本方案能够提高所确定引晶功率的准确性。

技术领域

本申请涉及单晶硅生产技术领域，尤其涉及引晶功率确定方法、装置和计算机可读介质。

背景技术

直拉单晶炉是一种用于通过直拉法生产单晶硅的制造设备，通过对直拉单晶炉生产出的单晶硅锭进行切片可以获得单晶硅片，而单晶硅片可用于制造半导体器件和太阳能电池。在通过直拉单晶炉生产单晶硅的过程中，引晶功率是控制直拉单晶炉的一个重要参数，其决定能否稳温并达到适合引晶的条件。每次更换直拉单晶炉的石英坩埚、加热器、保温层等都会改变炉内热特性，导致直拉单晶炉生产单晶硅的每个炉次需要不同的引晶功率。

目前，在通过直拉单晶炉生成单晶硅时，采用人工依据经验确定直拉单晶炉的引晶功率。

对于目前确定引晶功率的方法，由于人工经验的不同或缺乏科学支撑，导致所确定出的引晶功率准确性较低，后续需要耗费较长的时间对引晶功率进行调整，进而影响单晶硅生成的效率和成本。

发明内容

有鉴于此，本申请提供的引晶功率确定方法、装置和计算机可读介质，能够提高所确定引晶功率的准确性。

第一方面，本申请实施例提供了一种引晶功率确定方法，包括：

获取直拉单晶炉在当前炉次的熔料阶段的特征数据，其中，所述特征数据用于表征所述直拉单晶炉在熔料阶段内炉内温度与加热器能量输出值的关系；

将所述特征数据输入功率预测模型，获得所述功率预测模型的输出，并将所述功率预测模型的输出确定为所述当前炉次的引晶功率，其中，所述功率预测模型通过所述直拉单晶炉的历史生产数据训练获得。

在第一种可能的实现方式中，结合上述第一方面，所述获取直拉单晶炉在当前炉次的熔料阶段的特征数据，包括：

每经过一个预设的采样周期，对所述当前炉次的熔料阶段的炉内温度、加热器功率和加热器电阻值进行一次采集，并将每次采集到的炉内温度、加热器功率和加热器电阻值确定为一个当前特征向量；

将采集到的至少两个所述当前特征向量，确定为所述特征数据。

在第二种可能的实现方式中，结合上述第一种可能的实现方式，在所述将所述特征数据输入功率预测模型之前，所述方法还包括：

获取所述直拉单晶炉的至少两个所述历史生产数据，其中，每个所述历史生产数据对应所述直拉单晶炉生产单晶硅的一个历史炉次；

针对每个所述历史生产数据，均执行：以所述采样周期为间隔时间，从该历史生产数据中采集熔料阶段的炉内温度、加热器功率和加热器电阻值，并将每次采集到的炉内温度、加热器功率和加热器电阻值确定为一个历史特征向量；从该历史生产数据中获取该历史生产数据所对应历史炉次所使用的第一引晶功率；将各所述历史特征向量和所述第一引晶功率，确定为一个第一训练样本；

将所述第一训练样本包括的各所述历史特征向量作为模型输入，将所述第一训练样本包括的所述第一引晶功率作为模型输出，通过各所述第一训练样本进行模型训练，获得所述功率预测模型。

在第三种可能的实现方式中，结合上述第一方面，所述获取直拉单晶炉在当前炉次的熔料阶段的特征数据，包括：

对所述当前炉次的熔料阶段的炉内温度、加热器功率和加热器电阻值进行采集；