[实用新型]一种提升液体金属有机源使用量的装置

权利要求书

1.一种提升液体金属有机源使用量的装置，包括备用钢瓶（4），所述备用钢瓶（4）上设置有备用钢瓶进气阀门（2）、备用钢瓶出气阀门（3）及备用钢瓶旁路阀（1），所述备用钢瓶进气阀门（2）和备用钢瓶出气阀门（3）分别设置在备用钢瓶（4）上端两侧，备用钢瓶旁路阀（1）设置在备用钢瓶进气阀门（2）和备用钢瓶出气阀门（3）之间，所述备用钢瓶（4）旁设置有使用瓶（9），所述使用瓶（9）上设置有使用瓶进气阀门（7）、使用瓶出气阀门（8）以及使用瓶旁路阀（6），使用瓶进气阀门（7）和使用瓶出气阀门（8）设置在使用瓶（9）的上端两侧，使用瓶旁路阀（6）设置在使用瓶进气阀门（7）和使用瓶出气阀门（8）之间，其特征在于：所述备用钢瓶（4）直接在室温下使用，所述使用瓶（9）设置在恒温水槽（10）内使用。

2.如权利要求1所述的一种提升液体金属有机源使用量的装置，其特征在于：所述备用钢瓶（4）下端设置有电子秤（5），通过电子秤（5）对备用钢瓶（4）的重量进行称量。

3.如权利要求1所述的一种提升液体金属有机源使用量的装置，其特征在于：所述备用钢瓶旁路阀（1）和使用瓶旁路阀（6）直接与备用钢瓶（4）及使用瓶（9）组合制造，或者备用钢瓶旁路阀（1）和使用瓶旁路阀（6）独立制造且与备用钢瓶（4）及使用瓶（9）通过VCR接口连接。

4.如权利要求1所述的一种提升液体金属有机源使用量的装置，其特征在于：装置的工作状态分为两种，一种为正常使用，一种为超量使用，正常使用时，备用钢瓶旁路阀（1）打开，备用钢瓶进气阀门（2）和备用钢瓶出气阀门（3）关闭，备用钢瓶处于备用状态；超量使用阶段，备用钢瓶旁路阀（1）关闭，备用钢瓶进气阀门（2）和备用钢瓶出气阀门（3）打开，备用钢瓶处于使用状态。