[发明专利]一种具有准同轴观测功能的多通道KB显微镜结构

权利要求书

1.一种具有准同轴观测功能的多通道KB显微镜结构，其特征在于，该结构包括沿光轴方向依次设置的多个反射镜组，每个反射镜组均分别由一个沿子午方向设置的第一反射镜和一个沿弧矢方向设置的第二反射镜组成，从而构成多个独立的成像通道，每个反射镜组内的第一反射镜，其工作反射面之间均沿光轴方向排列，每个反射镜组内的第二反射镜，其工作反射面之间均沿光轴方向排列，每个反射镜组内的第一反射镜表面均镀制针对不同能量X光反射的多层膜结构，每个反射镜组内的第二反射镜表面均镀制针对不同能量X光反射的多层膜结构，每个反射镜组内的第一反射镜的多层膜结构对应的X光能量与第二反射镜的多层膜结构对应的X光能量根据不同的成像要求设定，每个成像通道均独立地在项面探测器上成像，每个成像通道在项面探测器上成像的像点相互之间具有设定的间距，并且互相不重叠，通过调节每个反射镜组内的第一反射镜和第二反射镜的空间姿态实现像点位置和间距的调节，相邻通道之间的观测视角差异低于0.1°的量级。