[实用新型]一种基于扫描振镜的五轴激光微加工装置

说明书

本实用新型针对复杂曲面微加工难题，提供一种基于扫描振镜的五轴激光微加工装置，包括大理石底座1、XY轴移动平台2、C轴旋转平台3、A轴旋转平台4、场镜5、扫描振镜6、Z轴移动平台7、反射镜一8、连接板9、激光器10、反射镜二11、导轨滑块一12、半波片13、大理石支撑板14、偏振片15、反射镜三16、导轨滑块二17、A轴安装板18和C轴安装板19，其特征是：扫描振镜6、场镜5、反射镜一8通过Z轴移动平台7安装在大理石支撑板14上，C轴旋转平台3、A轴旋转平台4安装在XY轴移动平台2，XY轴移动平台2、激光器10、反射镜二11、反射镜三16、半波片13、偏振片15安装在大理石底座1上。

技术领域

本发明涉及激光微加工技术，具体涉及一种基于扫描振镜的五轴激光微加工装置。

背景技术

激光微加工技术有诸多优点，如非接触工艺、高精度、高效率、能够实现柔性加工等。因此，激光微加工在工业制造中有着广泛的应用。激光扫描振镜是一种常见的激光扫描系统，具有高速、高精度、高灵活性的特点，可以实现光束的快速扫描和偏转，极大地提高了加工效率。

当前，激光微加工装备大多采用三轴机床和二轴扫描振镜组合而成，可以实现曲率变化较小的曲面微加工，但加工过程中光束的空间姿态无法进行调整，难以进行复杂曲面微加工。五轴机床可以实现复杂曲面的微加工，但加工过程依靠机床频繁加减速运动来完成，限制了加工效率。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提出一种基于扫描振镜的五轴激光微加工装置。

本实用新型的技术方案如下：

一种基于扫描振镜的五轴激光微加工装置，主要包括：大理石底座1、XY轴移动平台2、C轴旋转平台3、A轴旋转平台4、场镜5、扫描振镜6、Z轴移动平台7、反射镜一8、连接板9、激光器10、反射镜二11、导轨滑块一12、半波片13、大理石支撑板14、偏振片15、反射镜三16、导轨滑块二17、A轴安装板18和C轴安装板19，其特征是：所述大理石底座1为整套装置的机架，通过在所述大理石面板上镶嵌螺纹孔，使激光器、移动平台和各组件能够定位安装在大理石面板上；其中，XY轴移动平台2和激光器10安装在大理石底座1上，分别位于大理石支撑板14的前后两侧，通过在大理石支撑板14的一侧开一个较大的圆形通孔使得从激光器10发出的激光束能够通过反射镜传导至大理石支撑板14的前侧，再利用反射镜的若干次反射、扫描振镜6和场镜5的先后作用使光斑聚焦在由XY轴移动平台2、A轴旋转平台4和C轴旋转平台3组成的工作台上，从而进行复杂曲面的加工；A轴旋转平台4通过A轴安装板18固定在XY轴移动平台2上，C轴旋转平台3通过C轴安装板19固定在A轴旋转平台4上；导轨滑块一12和导轨滑块二17通过螺纹紧固件安装在大理石底座1上，分别位于大理石支撑板14的前后两侧；反射镜二11、半波片13通过螺纹紧固件安装在导轨滑块一12上，偏振片15、反射镜三16通过螺纹紧固件安装在导轨滑块二17上；扫描振镜6、场镜5、反射镜一8、连接板9通过Z轴移动平台7安装在大理石支撑板14上；XY轴移动平台2、A轴旋转平台4、C轴旋转平台3和Z轴移动平台7由PC控制，通过人工操作PC实现五轴平台的移动，同时PC可以控制激光器10的工作状态及控制扫描振镜6实现激光束的高速扫描。

本实用新型的优点为：

(1)该激光加工的装置结构灵活，便于更换配件。

(2)通过计算机协同控制XYZ三轴的移动、AC两轴的转动、扫描振镜的快速扫描及激光器的工作状态，可以任意调整光束的空间姿态，同时保证高速扫描，能够实现复杂曲面的高精度高效率的微加工。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；