[实用新型]一种基于扫描振镜的五轴激光微加工装置

权利要求书

1.一种基于扫描振镜的五轴激光微加工装置，主要包括：大理石底座(1)、XY轴移动平台(2)、C轴旋转平台(3)、A轴旋转平台(4)、场镜(5)、扫描振镜(6)、Z轴移动平台(7)、反射镜一(8)、连接板(9)、激光器(10)、反射镜二(11)、导轨滑块一(12)、半波片(13)、大理石支撑板(14)、偏振片(15)、反射镜三(16)、导轨滑块二(17)、A轴安装板(18)和C轴安装板(19)，其特征是：XY轴移动平台(2)和激光器(10)安装在大理石底座(1)上，分别位于大理石支撑板(14)的前后两侧，通过在大理石支撑板(14)的一侧开一个较大的圆形通孔使得从激光器(10)发出的激光束能够通过反射镜传导至大理石支撑板(14)的前侧，再利用反射镜的若干次反射、扫描振镜(6)和场镜(5)的先后作用使光斑聚焦在由XY轴移动平台(2)、A轴旋转平台(4)和C轴旋转平台(3)组成的工作台上，从而进行复杂曲面的加工；A轴旋转平台(4)通过A轴安装板(18)固定在XY轴移动平台(2)上，C轴旋转平台(3)通过C轴安装板(19)固定在A轴旋转平台(4)上；导轨滑块一(12)和导轨滑块二(17)通过螺纹紧固件安装在大理石底座(1)上，分别位于大理石支撑板(14)的前后两侧；反射镜二(11)、半波片(13)通过螺纹紧固件安装在导轨滑块一(12)上，偏振片(15)、反射镜三(16)通过螺纹紧固件安装在导轨滑块二(17)上；扫描振镜(6)、场镜(5)、反射镜一(8)、连接板(9)通过Z轴移动平台(7)安装在大理石支撑板(14)上；XY轴移动平台(2)、A轴旋转平台(4)、C轴旋转平台(3)和Z轴移动平台(7)由PC控制，通过人工操作PC实现五轴平台的移动，同时PC可以控制激光器(10)的工作状态及控制扫描振镜(6)实现激光束的高速扫描。