[发明专利]一种测算直拉炉内剩料电阻率的方法

说明书

本发明提供一种测算直拉炉内剩料电阻率的方法，在取段复投时，测量坩埚内剩料的重量和单晶的头部电阻率，根据剩料的重量和单晶头部的电阻率计算剩料重量对应的剩料电阻率。本发明的有益效果是提高单晶电阻率控制精度，提高单晶的品质，提高电阻率控制效率，直接计算剩料电阻率，去除定期验证剩料的环节，节约工时，提高产能，配料工作难度下降，降低对配料人员技能水平的要求。

技术领域

本发明属于单晶硅生产技术领域，尤其是涉及一种测算直拉炉内剩料电阻率的方法。

背景技术

随着直拉单晶硅的不断发展，各种各样的生长技术不断涌现。为了节约开炉成本，目前基本所有的单晶都采用复投或者多次复投的方式拉制单晶。采用复投方式拉制单晶与常规方法不同的地方在于，复投拉晶时，当单晶生长到固定长度时(埚内仍有很多硅料)主动收尾将单晶取出，然后再加入复投料直至硅料装满坩埚，然后再继续拉制单晶。这样的问题在于埚内的剩料电阻率及剩料重量都会对第二段单晶的电阻率造成很大影响，影响产品品质。因此如果能够计算出埚内剩料的重量及电阻率，那这类问题将迎刃而解。目前部分设备具备剩料重量测量功能，而大部分设备称重功能不准确，不具备参考价值，剩料电阻率需要通过实际投料去验证，验证准确度差，变更不灵活且周期长，浪费产能。

发明内容

鉴于上述问题，本发明要解决的问题是提供一种测算直拉炉内剩料电阻率的方法，尤其适合直拉单晶过程中使用，对直拉单晶过程中直拉炉内剩料的电阻率进行计算，提高电阻率控制精度，提高产品品质。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种测算直拉炉内剩料电阻率的方法，在取段复投时，测量坩埚内剩料的重量和所述单晶的头部电阻率，根据所述剩料的重量和所述单晶头部的电阻率计算所述剩料重量对应的剩料电阻率。

进一步的，所述确定坩埚内剩料的重量为根据直拉单晶炉设备上的测量装置进行所述坩埚内剩料的重量的测量。

进一步的，所述确定坩埚内剩料的重量为量取所述第一段单晶的重量或长度，根据所述第一段单晶的重量或长度计算所述坩埚内剩料的重量。

进一步的，所述坩埚内剩料的重量的精度为-2～2kg。

进一步的，所述第一段单晶的头部电阻率的测量采用电阻率测量仪。

进一步的，所述测量装置为重量传感器。

本发明具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，在直拉单晶取段复投时，测量单晶的头部电阻率和坩埚内剩料的重量，根据分凝原理，并结合单晶的头部电阻率和坩埚内剩料的重量，进行坩埚内剩料的电阻率计算，使得坩埚内剩料的电阻率可控，进而提高单晶电阻率控制精度，提高单晶的品质，提高电阻率控制效率，直接计算剩料电阻率，去除定期验证剩料的环节，节约工时，提高产能，配料工作难度下降，降低对配料人员技能水平的要求。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明作进一步的说明。

本发明的一实施例涉及一种测算直拉炉内剩料电阻率的方法，用于对直拉单晶过程中对直拉炉内坩埚内的剩料的电阻率进行计算，在取段复投时，根据坩埚内剩料的重量和单晶的头部电阻率进行坩埚内剩料的电阻率的计算，提高剩料的电阻率控制精度，使得直拉单晶过程中单晶电阻率可控，提高产品品质。

该一种测算直拉炉内剩料电阻率的方法，在直拉单晶过程中的取段复投时，拉制单晶收尾取段后，测量坩埚内剩料的重量和单晶的头部电阻率，根据剩料的重量和单晶头部的电阻率计算剩料重量对应的剩料电阻率。具体地，在进行直拉单晶时，为了节约开炉成本，采用复投的方式进行单晶的拉制，在采用复投方式进行单晶拉制时，当单晶生长到固定长度收尾后时，坩埚内仍会有很多硅料，再加入复投料直至硅料装满坩埚后，继续单晶的拉制，在复投料添加之前，对坩埚内的剩料进行电阻率的测算，掌握坩埚内剩料的电阻率，进而保证直拉单晶的电阻率。