[实用新型]一种两用晶圆放置箱有效
申请号: | 201821298101.1 | 申请日: | 2018-08-13 |
公开(公告)号: | CN208544579U | 公开(公告)日: | 2019-02-26 |
发明(设计)人: | 陈俊江;段之刚 | 申请(专利权)人: | 成都先进功率半导体股份有限公司 |
主分类号: | B65D25/10 | 分类号: | B65D25/10;B65D81/02;B65D85/30 |
代理公司: | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人: | 王芸;杨正辉 |
地址: | 611731 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶圆 放置箱 横槽 竖槽 底板 右侧板 左侧板 上竖槽 匹配 本实用新型 一体化设置 工作效率 矩形结构 快速转换 两用功能 合围 多槽 芯片 节约 | ||
1.一种两用晶圆放置箱,其特征在于,包括左侧板、右侧板、底板和顶板,所述左侧板、右侧板、底板和顶板合围形成矩形结构,在左侧板和右侧板上对应开设若干横槽,分别为左横槽与右横槽,所述左横槽与右横槽之间的距离与八英寸晶圆匹配,在底板和顶板上对应开设有若干竖槽,分别为上竖槽与下竖槽,所述上竖槽与下竖槽之间的距离与六英寸晶圆匹配。
2.根据权利要求1所述的两用晶圆放置箱,其特征在于,所述左侧板分别与底板和顶板可拆卸连接,所述右侧板分别与底板和顶板可拆卸连接,所述底板和顶板分别设有螺纹孔,所述左侧板和右侧板分别设有对应的连接孔。
3.根据权利要求2所述的两用晶圆放置箱,其特征在于,所述横槽与竖槽内分别设有防止晶圆掉落的横卡槽和竖卡槽。
4.根据权利要求3所述的两用晶圆放置箱,其特征在于,所述横卡槽开设在横槽靠近所述底板一侧中心位置。
5.根据权利要求4所述的两用晶圆放置箱,其特征在于,所述竖卡槽开设在竖槽底部中心位置。
6.根据权利要求5所述的两用晶圆放置箱,其特征在于,所述右侧板外壁设有文件盒。
7.根据权利要求6所述的两用晶圆放置箱,其特征在于,所述顶板顶面上连有把手。
8.根据权利要求7所述的两用晶圆放置箱,其特征在于,所述两用晶圆放置箱还设有挡板,所述挡板设置在矩形开口一端。
9.根据权利要求8所述的两用晶圆放置箱,其特征在于,所述挡板为铁皮制成。
10.根据权利要求9所述的两用晶圆放置箱,其特征在于,所述两用晶圆放置还设有限位挡门,所述限位挡门设置在矩形开口另一端,包括左门框、右门框和合页,所述左门框、右门框通过合页分别与所述左侧板和右侧板铰接,所述左门框上设有卡钩,所述右门框上设有门栓,所述门栓与右门框铰接。
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