[发明专利]一种光刻机光点错位扫描时序调整系统及其调整方法

权利要求书

1.一种光刻机光点错位扫描时序调整系统，其特征在于：包括由多根光纤并排排列而成的光纤阵列、与光纤数目对应的激光器、与激光器数目对应的可编程延迟线、用于发送光点数据源至可编程延迟线的缓冲数据发送单元、用于下达控制指令至可编程延迟线的MCU；其中所述缓冲数据发送单元的输出端分别与多个可编程延迟线的输入端连接，且多个可编程延迟线的输出端分别与多个激光器的输入端对应连接；所述MCU的输出端分别与每个可编程延迟线的控制端口连接，所述多个可编程延迟线的输出端与多个激光器的输入端对应连接，所述多个激光器的输出端与光纤阵列的多个光纤的输入端对应连接。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机光点错位扫描时序调整系统，其特征在于：所述MCU的输出端通过I2C控制总线分别与每个可编程延迟线的控制端口连接。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机光点错位扫描时序调整系统，其特征在于：所述缓冲数据发送单元包括接收芯片、与可编程延迟线数目对应的缓冲器，其中所述接收芯片的输出端分别与多个缓冲器的输入端连接，多个缓冲器的输出端与多个可编程延迟线的输入端对应连接。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机光点错位扫描时序调整系统，其特征在于：所述接收芯片的输出端通过并行总线分别与多个缓冲器的输入端连接。

5.根据权利要求3所述的一种光刻机光点错位扫描时序调整系统，其特征在于：所述缓冲器为双口缓存器。

6.一种光刻机光点错位扫描时序调整系统的调整方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤S1：MCU根据光刻机的实际时序要求下，向每一条可编程延迟线的控制端口发送对应的控制命令；

步骤S2：每一条可编程延迟线接收到对应的控制命令，并根据控制命令调整延迟参数；

步骤S3：缓冲数据发送单元分别输出多路光点数据源至多个编程延迟线；

步骤S4：每一条可编程延迟线接收缓冲数据发送单元发送来的光点数据源，并在延迟参数所设定的时间到达后发送驱动指令到激光器；

步骤S5：接收到驱动指令的激光器产生光点激光，光点激光通过光纤阵列输出到被光刻的板材上。