[发明专利]处理装置在审

专利信息
申请号: 201810996908.0 申请日: 2018-08-29
公开(公告)号: CN110875209A 公开(公告)日: 2020-03-10
发明(设计)人: 邹金成;申兵兵;王敬苗;刘香廷 申请(专利权)人: 东泰高科装备科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 韩建伟;谢湘宁
地址: 102200 北京市昌平*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 处理 装置
【权利要求书】:

1.一种处理装置,其特征在于,包括:

载具(10),用于放置产品;

浸泡机构(20),所述浸泡机构(20)能够储存液体,所述浸泡机构(20)用于浸泡所述产品;

第一移动机构(30),可移动地设置,所述第一移动机构(30)具有将所述载具(10)至少部分地放入所述浸泡机构(20)的第一工况以及将所述载具(10)从所述浸泡机构(20)取出的第二工况;

第二移动机构,可移动地设置在所述第一移动机构(30)上,所述第二移动机构包括吸附机构(50),所述吸附机构(50)用于吸附和移动所述产品以将所述产品放入所述载具(10)中。

2.根据权利要求1所述的处理装置,其特征在于,所述吸附机构(50)包括:

吸盘(51),所述吸盘(51)用于吸附和释放所述产品;

第三驱动部(52),所述吸盘(51)设置在所述第三驱动部(52)上,所述第三驱动部(52)具有将所述吸盘(51)移动到所述载具(10)外部的第七工况以及将所述吸盘(51)移动到所述载具(10)内部的第八工况。

3.根据权利要求2所述的处理装置,其特征在于,所述吸盘(51)内具有多个吸气孔,多个所述吸气孔的进气口间隔设置在所述吸盘(51)的下表面,多个所述吸气孔用于形成负压以吸附所述产品。

4.根据权利要求2所述的处理装置,其特征在于,所述第三驱动部(52)用于带动所述吸盘(51)竖直移动,所述载具(10)包括:

底板(12);

侧板(13),所述侧板(13)围绕在所述底板(12)的周缘以形成用于放置所述产品的容纳腔,所述容纳腔的上部具有入料口。

5.根据权利要求1所述的处理装置,其特征在于,

所述第二移动机构为多个,所述第一移动机构(30)为一个,多个所述第二移动机构并排设置在所述第一移动机构(30)上;或,

所述第二移动机构为多个,所述第一移动机构(30)为多个,多个所述第二移动机构与多个所述第一移动机构(30)一一对应设置。

6.根据权利要求1所述的处理装置,其特征在于,所述第一移动机构(30)包括:

支架(31),可移动地设置,所述第二移动机构设置在所述支架(31)上;

第一托架(32),设置在所述支架(31)上,所述第二移动机构至少部分地位于所述第一托架(32)的上方,所述第一托架(32)用于承载所述载具(10)。

7.根据权利要求6所述的处理装置,其特征在于,所述第一移动机构(30)至少部分地位于所述浸泡机构(20)的上方,所述第一移动机构(30)还包括:

第四驱动部(33),所述支架(31)设置在所述第四驱动部(33)上,所述第四驱动部(33)用于带动所述支架(31)竖直移动。

8.根据权利要求6所述的处理装置,其特征在于,所述第一托架(32)包括间隔设置的两个托臂(321),两个所述托臂(321)用于共同承载所述载具(10),所述第二移动机构能够将所述产品放入所述第一托架(32)上的所述载具(10)中。

9.根据权利要求8所述的处理装置,其特征在于,所述载具(10)包括:

底板(12);

侧板(13),所述侧板(13)围绕在所述底板(12)的边沿以形成用于放置所述产品的容纳腔;

托板(14),设置在所述侧板(13)上,所述托板(14)至少部分地凸出于所述侧板(13)的外表面,所述托板(14)为两个,两个所述托板(14)分别位于所述容纳腔的两侧,两个所述托臂(321)用于一一对应承载两个所述托板(14)的下表面。

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