[实用新型]固定盘、研磨垫修整装置及研磨垫修整装置的更换系统

说明书

本实用新型提供一种固定盘、研磨垫修整装置及研磨垫修整装置的更换系统，所述固定盘包括内设有空腔的固定盘本体，及设于所述空腔内、且磁性可控的磁铁机构。通过本实用新型提供的一种固定盘、研磨垫修整装置及研磨垫修整装置的更换系统，解决了现有修整装置更换修整头不方便，及修整头掉落损伤机台其他部件风险的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，特别是涉及一种固定盘、研磨垫修整装置及研磨垫修整装置的更换系统。

背景技术

在化学机械抛光(Chemical Mechanical Polish，CMP)机器中，固定盘用于固定修整头，并带动修整头对研磨垫进行修整。现有修整装置11的结构如图1所示，固定盘111下方安装永磁112铁，利用永磁铁112的吸附力将修整头113吸附于所述固定盘111上。而在利用修整头对研磨垫进行修整的过程中，由于会对修整头造成一定的磨损，故需要定期对所述修整头进行更换，以保证修整效果。

而现有的修整装置的更换系统1更换修整头的方法一般如图2所示，在固定盘111和修整头113之间用一字螺丝刀12向下撬，通过硬力使得修整头直113接掉下；通过该种方法更换修整头时，存在操作不方便、修整头掉落时有可能对机台其他部件造成损伤等缺点。

鉴于此，有必要设计一种新的固定盘、研磨垫修整装置及研磨垫修整装置的更换系统用于解决上述技术问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种固定盘、研磨垫修整装置及研磨垫修整装置的更换系统，解决了现有修整装置更换修整头不方便，存在损伤机台部件风险的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种固定盘，所述固定盘包括内设有空腔的固定盘本体，及设于所述空腔内、且磁性可控的磁铁机构。

优选地，所述磁铁机构包括电磁铁。

优选地，所述固定盘本体上设有与所述电磁铁电性连接的导电部件，用于实现所述电磁铁与外部电源的电连接。

优选地，所述磁铁机构包括：

设于所述空腔内的第一导磁体和第二导磁体，其中，所述第一导磁体和所述第二导磁体对称排布、且中间形成有一放置腔室；

分别设于所述第一导磁体和第二导磁体接触处的第一磁性绝缘体和第二磁性绝缘体；及

设于所述放置腔室内的可旋转磁体。

优选地，所述固定盘本体包括顶连接部，固定于所述顶连接部下方的腔体部，及固定于所述腔体部下方的至少一个底连接部；其中，所述腔体部内设有空腔。

优选地，所述底连接部包括倒T形结构或柱状结构。

本实用新型还提供了一种研磨垫修整装置，所述研磨垫修整装置包括：如上述任一项所述的固定盘，及吸附于所述固定盘下方的修整头。

优选地，所述修整头包括吸附部，及设于所述吸附部下方的修整部。

优选地，所述修整部包括金刚石颗粒。

优选地，所述修整头上设有与所述底连接部适配的凹槽。

优选地，所述凹槽包括倒T形槽或柱形槽。

本实用新型还提供了一种研磨垫修整装置的更换系统，所述更换系统包括：如上述任一项所述的研磨垫修整装置，及设于所述研磨垫修整装置下方的接盘。

优选地，所述接盘包括凹形盘。

优选地，所述接盘的直径大于所述修整头的直径。