[发明专利]超声波器件、超声波探头以及超声波装置有效
申请号: | 201711453330.6 | 申请日: | 2017-12-27 |
公开(公告)号: | CN108282729B | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 大泽荣治;小岛力 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H04R17/00 | 分类号: | H04R17/00;A61B8/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 张永明;玉昌峰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 超声波 器件 探头 以及 装置 | ||
1.一种超声波器件,其特征在于,具备:
基板,具有开口部以及包围所述开口部的隔壁;
振动部,封闭所述开口部的一端侧;以及
压电元件,设于所述振动部,
当将所述开口部的开口宽度尺寸设为W,并将所述基板的厚度尺寸设为H时,W/H为0.66至0.92。
2.一种超声波器件,其特征在于,具备:
基板,具有开口部以及包围所述开口部的隔壁;
支承膜,封闭所述开口部的一端侧,并具有临近所述开口部的第一面以及作为所述第一面的背面的第二面;
梁部,将配置于所述支承膜的所述第二面侧的密封板与所述支承膜的所述第二面接合;以及
压电元件,设于所述支承膜,
当从所述基板的厚度方向俯视观察时,所述支承膜具有由所述隔壁的边缘和所述梁部的边缘包围的振动部,
所述压电元件设于所述振动部,
当将所述振动部的宽度尺寸设为S,并将所述基板的厚度尺寸设为H时,S/H为0.73至1.16。
3.一种超声波探头,其特征在于,具备:
权利要求1或2所述的超声波器件;以及
壳体,收纳所述超声波器件。
4.一种超声波装置,其特征在于,具备:
权利要求1或2所述的超声波器件;以及
控制部,控制所述超声波器件。
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