[发明专利]涂布装置以及涂布方法

权利要求书

1.一种涂布装置，其特征在于包括：

载置台，用于配置基板；

第1涂布机构，能够在作为沿配置于所述载置台的所述基板的上表面的方向的第1方向上移动，且将第1涂布材涂布于所述基板的上表面的第1涂布区域；

第2涂布机构，能够在作为与所述第1方向对向的方向的第2方向上移动，且将第2涂布材涂布于所述基板的上表面的第2涂布区域；

第1维护部，位于所述载置台的其中一侧，且对所述第1涂布机构进行第1维护处理；

第2维护部，位于所述载置台的另一侧，且对所述第2涂布机构进行第2维护处理；以及

控制部，控制所述第1涂布机构的动作及所述第2涂布机构的动作；

所述第1涂布机构及所述第2涂布机构独立地动作，且于所述载置台上面沿同一轴方向的同一方向或相互为反方向移动，

所述控制部为了进行所述第1维护处理，使所述第1涂布机构位于所述第1维护部后，在所述第1涂布区域使所述第1涂布机构在所述第1方向移动，进而所述第1涂布机构到达所述第1涂布区域的第1端部后，使所述第1涂布机构自所述第1端部退避，

所述控制部为了进行所述第2维护处理，使所述第2涂布机构位于所述第2维护部后，在所述第2涂布区域使所述第2涂布机构在所述第2方向移动，进而使所述第2涂布机构到达所述第2涂布区域的第2端部，

所述第1端部与所述第2端部之间的距离为位于所述第1端部的所述第1涂布机构与位于所述第2端部的所述第2涂布机构进行接触的距离以下，

所述控制部通过进行使所述第2涂布机构到达所述第2端部的时机晚于所述第1涂布机构到达所述第1端部的时机的时间差控制，使所述第1涂布机构与所述第2涂布机构隔开，并使所述第1涂布机构及所述第2涂布机构的移动的至少一部分在时间上并行来进行。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于：

所述控制部通过使所述第2涂布机构位于所述第2维护部的时机晚于所述第1涂布机构位于所述第1维护部的时机，进行所述时间差控制。

3.根据权利要求1或2所述的涂布装置，其特征在于：

所述控制部通过使所述第2涂布机构在所述第2方向移动的速度较所述第1涂布机构在所述第1方向移动的速度而言慢，进行所述时间差控制。

4.根据权利要求1或2所述的涂布装置，其特征在于：

所述第1涂布材与所述第2涂布材包含同一材料。

5.根据权利要求1或2所述的涂布装置，其特征在于：

所述控制部进行使所述第1涂布机构自所述第1端部退避后使所述第2涂布机构立即到达所述第2端部的所述时间差控制。

6.根据权利要求5所述的涂布装置，其特征在于：

将所述第1涂布机构位于所述第1端部时的、俯视时与所述第1涂布机构重叠的所述基板的上表面的区域设为第1端部区域，

将所述第2涂布机构位于所述第2端部时的、俯视时与所述第2涂布机构重叠的所述基板的上表面的区域设为第2端部区域，

所述控制部进行以下时间差控制：在所述第1涂布机构开始自所述第1端部的退避后至到达俯视时所述第1涂布机构的整体不与所述第1端部区域重叠的位置为止的期间，使所述第2涂布机构的至少一部分到达所述第2端部区域。

7.根据权利要求1或2所述的涂布装置，其特征在于：

所述第1涂布机构包括：

第1喷嘴，朝所述第1涂布区域涂布所述第1涂布材；以及

第1保持部，保持所述第1喷嘴，且能够在所述第1方向移动；

所述第2涂布机构包括：

第2喷嘴，朝所述第2涂布区域涂布所述第2涂布材；以及

第2保持部，保持所述第2喷嘴，且能够在所述第2方向移动；

所述第1端部与所述第2端部之间的距离为位于所述第1端部的所述第1涂布机构的所述第1保持部与位于所述第2端部的所述第2涂布机构的所述第2保持部进行接触的距离以下。

8.一种涂布方法，其是使用涂布装置来进行第1涂布材及第2涂布材的涂布，所述涂布装置包括：

第1涂布机构，能够在作为沿配置于载置台的基板的上表面的方向的第1方向上移动，且将所述第1涂布材涂布于所述基板的上表面的第1涂布区域；以及第2涂布机构，能够在作为与所述第1方向对向的方向的第2方向上移动，且将所述第2涂布材涂布于所述基板的上表面的第2涂布区域；

所述涂布方法的特征在于：

所述第1涂布机构及所述第2涂布机构独立地动作，且于所述载置台上面沿同一轴方向的同一方向或相互为反方向移动，

为了进行第1维护处理，使所述第1涂布机构位于所述载置台的一侧后，在所述第1涂布区域使所述第1涂布机构在所述第1方向移动，进而所述第1涂布机构到达所述第1涂布区域的第1端部后，使所述第1涂布机构自所述第1端部退避，

为了进行第2维护处理，使所述第2涂布机构位于所述载置台的另一侧后，在所述第2涂布区域使所述第2涂布机构在所述第2方向移动，进而使所述第2涂布机构到达所述第2涂布区域的第2端部，

所述第1端部与所述第2端部之间的距离为位于所述第1端部的所述第1涂布机构与位于所述第2端部的所述第2涂布机构进行接触的距离以下，

通过进行使所述第2涂布机构到达所述第2端部的时机晚于所述第1涂布机构到达所述第1端部的时机的时间差控制，使所述第1涂布机构与所述第2涂布机构隔开，并使所述第1涂布机构及所述第2涂布机构的移动的至少一部分在时间上并行来进行。