[发明专利]一种线性蒸发源装置及蒸镀装置

说明书

本发明涉及显示技术领域，公开了一种线性蒸发源装置及蒸镀装置，该线性蒸发源装置包括：壳体；安装于壳体内的存储部件；安装于壳体内的加热组件；安装于壳体内的热吸收组件，热吸收组件包括热吸收部和冷却部，热吸收部位于存储部件外侧、且与存储部件的底部配合以吸收存储部件的底部多余的热，冷却部与热吸收部连接以对热吸收部吸收的热量进行冷却；喷嘴部。上述线性蒸发源装置中，热吸收组件中的热吸收部将存储部件底部多余的热量吸收，并传递至冷却部中，通过冷却部将存储部件底部多余的热量进行冷却，防止出现存储部件局部高温导致有机物变性，进而提高了基板上形成的有机膜的实用性、提高了由有机膜制备的显示装置的亮度和寿命。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种线性蒸发源装置及蒸镀装置。

背景技术

有机电场发光显示装置的有机半导体装置需要形成有机膜，当形成有机膜的物质为低分子时，由于低分子在200℃至400℃的较低温度中可以进行蒸发，现有技术中通常采用蒸发源装置对低分子有机物进行蒸发和喷射，在基板上形成有机膜。

但是，在长时间的蒸镀工艺期间，蒸发源内部温度较高、压力较大，且蒸发源内的有机物在蒸镀过程中极易受热不均，从而出现有机物变性的现象，导致由变性有机物形成的有机膜制备的显示装置的亮度和寿命降低。

发明内容

本发明提供了一种线性蒸发源装置及蒸镀装置，通过在存储部件的底部设置热吸收组件，将存储部件中多余的热量排出，避免存储部件内部有机物温度过高出现有机物变性的现象，提高基板上形成的有机膜的实用性、提高显示装置的亮度和寿命。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种线性蒸发源装置，包括：

壳体，所述壳体的顶部设有开口；

安装于所述壳体内的存储部件，所述存储部件的内部形成有用于放置有机物的腔室，且所述存储部件的顶部形成有开口；

安装于所述壳体内以对所述存储部件加热的加热组件；

安装于所述壳体内的热吸收组件，所述热吸收组件包括热吸收部和冷却部，所述热吸收部位于所述存储部件外侧、且与所述存储部件的底部配合以吸收所述存储部件的底部多余的热，所述冷却部与所述热吸收部连接以对所述热吸收部吸收的热量进行冷却；

喷嘴部，所述喷嘴部的一端自所述壳体顶部设置的开口探出所述壳体、且另一端与所述存储部件的开口连通。

上述线性蒸发源装置在工作过程中，加热组件为存储部件加热，使存储部件中的有机物蒸发，蒸发的有机物通过喷嘴部喷射至基板上，并在基板上形成有机膜，为避免存储部件内温度过高而导致有机物变性，在存储部件的底部配合设置有热吸收组件，其中，热吸收组件中的热吸收部将存储部件底部多余的热量吸收，并传递至冷却部中，通过冷却部将存储部件底部多余的热量进行冷却，从而降低存储部件底部的温度，防止出现存储部件局部高温导致有机物变性，进而提高了基板上形成的有机膜的实用性、提高了由有机膜制备的显示装置的亮度和寿命。

优选地，所述热吸收部在所述存储部件的底面上的投影覆盖所述存储部件的底面；或者，

所述热吸收部包括多个用于将所述存储部件的底部局部多余热量进行吸收的子吸收部，多个所述子吸收部在所述存储部件的底面上的投影覆盖所述存储部件底面的一部分区域。

优选地，所述壳体的内壁上设有热反射板。

优选地，所述热吸收部由至少一层金属导热板制成。

优选地，所述金属导热板的材料为钛、不锈钢或者铝。

优选地，所述冷却部为水冷系统。

优选地，所述壳体外套设有用于防止热量传递到基板上的冷却系统。