[发明专利]一种线性蒸发源装置及蒸镀装置

权利要求书

1.一种线性蒸发源装置，其特征在于，包括：

壳体，所述壳体的顶部设有开口；

安装于所述壳体内的存储部件，所述存储部件的内部形成有用于放置有机物的腔室，且所述存储部件的顶部形成有开口；

安装于所述壳体内以对所述存储部件加热的加热组件；

安装于所述壳体内的热吸收组件，所述热吸收组件包括热吸收部和冷却部，所述热吸收部位于所述存储部件外侧、且与所述存储部件的底部配合以吸收所述存储部件的底部多余的热，所述冷却部与所述热吸收部连接以对所述热吸收部吸收的热量进行冷却；

喷嘴部，所述喷嘴部的一端自所述壳体顶部设置的开口探出所述壳体、且另一端与所述存储部件的开口连通。

2.根据权利要求1所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述热吸收部在所述存储部件的底面上的投影覆盖所述存储部件的底面；或者，

所述热吸收部包括多个用于将所述存储部件的底部局部多余热量进行吸收的子吸收部，多个所述子吸收部在所述存储部件的底面上的投影覆盖所述存储部件底面的一部分区域。

3.根据权利要求1所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述壳体的内壁上设有热反射板。

4.根据权利要求1所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述热吸收部由至少一层金属导热板制成。

5.根据权利要求4所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述金属导热板的材料为钛、不锈钢或者铝。

6.根据权利要求1所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述冷却部为水冷系统。

7.根据权利要求1所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述壳体外套设有用于防止热量传递到基板上的冷却系统。

8.根据权利要求1-7任一项所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述热吸收组件还包括设置于所述热吸收部与所述冷却部之间的热分散部；所述热分散部与所述热吸收部连接以将所述热吸收部吸收的热量进行扩散，所述冷却部通过所述热分散部与所述热吸收部连接，以将所述热分散部分散的热量进行冷却。

9.根据权利要求8所述的线性蒸发源装置，其特征在于，当所述热吸收部包括多个子吸收部时：

所述热分散部包括与所述子吸收部一一对应的子热分散部，每一对相互对应的子热分散部与子吸收部中，所述子热分散部安装于所述子吸收部与所述冷却部之间；或者，

所述热分散部一个热分散板，各所述子吸收部安装于所述热分散板上，所述热分散板安装于所述冷却部。

10.根据权利要求9所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述热分散板上未被所述子吸收部覆盖的部位设有至少一个通孔。

11.根据权利要求1-7任一项所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述存储部件的底部朝向所述热吸收部的表面形成有多个凸起，所述热吸收部朝向所述存储部件的表面形成有与所述凸起一一对应的凹陷，每一对相互对应的凸起和凹陷中，所述凸起的表面与所述凹陷的内壁接触。

12.一种蒸镀装置，其特征在于，包括权利要求1-11任一项所述的线性蒸发源装置，还包括本体和用于移动所述线性蒸发源装置的移送装置，所述本体内、与所述移送装置相对设置有用于放置基板的架体；

当所述线性蒸发源装置工作时，所述本体内的工作环境为真空。