[发明专利]一种感光树脂组合物及水洗树脂版有效
申请号: | 201711277417.2 | 申请日: | 2017-12-06 |
公开(公告)号: | CN108107677B | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 周健;刘孟;姜伟;解雅玲;李娜;赵伟建 | 申请(专利权)人: | 中国乐凯集团有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/09 |
代理公司: | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 | 代理人: | 李羡民;郭绍华 |
地址: | 071054 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 感光 树脂 组合 水洗 | ||
1.一种感光树脂组合物,其特征在于,所述组合物的组成及质量份数为:
所述巯基改性PVA树脂中巯基占0.5-10wt%,PVA树脂的皂化度为60-95mol%;
所述改性PVA树脂带的巯基来自(i)烷基硫醇、(ii)硫醇酯、(iii)芳基硫醇、(ⅳ)带硫醇的硅烷偶联剂中的一种或几种,其连接方式如下:
其中代表树脂主链;X可以是碳原子数量为1-12的直链烷基、带支链的烷基、环烷基;R代表H或-CH3;n代表0-10的整数。
2.如权利要求1所述树脂组合物,其特征在于,所述溶剂为水和醇的混合物,其中水为蒸馏水,醇为乙醇、丙醇、二甘醇中的一种或几种,水和醇的质量比例为10/90-90/10。
3.如权利要求1所述树脂组合物,其特征在于,所述活性单体为带有羟基的丙烯酸酯类单体混合物,25℃时单体混合物的粘度低于500cps,混合物中含有至少一种带有苯环结构的单体,至少一种官能度大于等于2的单体。
4.如权利要求1所述树脂组合物,其特征在于,所述增塑剂为乙二醇、丙三醇、季戊四醇、聚乙二醇、三羟甲基丙烷等多元醇中的一种或几种。
5.如权利要求1所述树脂组合物,其特征在于,所述光引发剂为苯偶姻类、苯偶酰类、烷基苯酮类中的一种或几种。
6.如权利要求1所述树脂组合物,其特征在于,所述组合物的阻聚剂为酚类阻聚剂、醌类阻聚剂、有机金属类阻聚剂中的一种或几种。
7.如权利要求1所述树脂组合物,其特征在于,所述其他助剂为紫外吸收剂、抗氧剂、消泡剂、染料中的一种或几种。
8.一种水洗树脂版,由保护层、感光树脂层、粘结层、基材和/或位于保护层与感光树脂层之间的激光掩膜层组成,其特征在于,所述感光树脂层由权利要求1-7所述感光树脂组合物经涂布干燥而成。
9.如权利要求8所述水洗树脂版,其特征在于,所述感光树脂层厚度为650-700μm。
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