[发明专利]靶材固定装置及靶材固定方法

说明书

本发明一种靶材固定装置，用于靶材在更换过程中的固定，所述靶材固定装置包括基板以及镜面层，所述镜面层包括第一表面以及与第一表面相对的第二表面，所述镜面层与所述靶材依次放置于所述基板上，且所述靶材吸附贴合于所述镜面层的所述第一表面，所述镜面层的所述第二表面与所述基板贴合。本发明通过镜面层镜面吸附固定所述靶材的方式，可以实现更换所述靶材时，只需要将所述靶材从所述基板上拆除，进而增加了基板的使用寿命，同时节约时间，减少更换靶材所需成本。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种靶材固定装置及靶材固定方法。

背景技术

在薄膜材料制备过程中，需利用高速的离子流去轰击固体表面，被轰击的固体称为靶材，当靶材消耗完毕后，需要更换靶材，一般的做法为将粘结有旧靶材的基板拆下，将基板上剩余的旧靶材剥离，之后使用锡铟合金作为粘结剂，将新靶材粘附到基板上，如此反复使用。

而基板再利用的方式需经过旧靶材剥离、粘结剂融化、新靶材再贴附等过程，此过程会导致基板在多次剥离后使用寿命减短，增加靶材更换成本。

发明内容

本发明提供一种靶材固定装置以及一种靶材固定的方法，用以解决靶材更换过程中，基板经多次剥离后使用寿命减短，增加靶材更换成本的问题。

本发明提供一种靶材固定装置，用于靶材在更换过程中的固定，所述靶材固定装置包括基板以及镜面层，所述镜面层包括第一表面以及与第一表面相对的第二表面，所述镜面层与所述靶材依次放置于所述基板上，且所述靶材吸附贴合于所述镜面层的所述第一表面，所述镜面层的所述第二表面与所述基板贴合。

其中，所述基板的周缘设有陶瓷定位架，所述陶瓷定位架定位于所述基板的周缘且将所述靶材固定。

其中，所述靶材固定装置还包括夹具以及第一驱动件，所述第一驱动件连接于所述夹具，所述第一驱动件驱动所述夹具夹紧所述基板相对两侧。

其中，所述第一驱动件为气缸或者马达。

其中，所述靶材固定装置还包括支撑体以及第二驱动件，所述支撑体支撑所述基板，所述第二驱动件连接于所述支撑体，用以驱动所述支撑体上升以及下降。

其中，所述第二驱动件可以是气缸或者马达。

其中，所述靶材固定装置还包括控制装置，所述控制装置用于控制所述第一驱动件以及第二驱动件的启动以及关闭。

本发明还提供一种靶材固定的方法，包括：

对所述靶材固定装置中的镜面层进行清洁；

将靶材压合到清洁后的所述镜面层表面；

采用所述陶瓷定位架定位所述靶材。

其中，对所述靶材固定装置中的镜面层进行清洁的步骤之前还包括采用支撑体支撑基板的方式以及采用夹具夹紧所述基板相对两侧的方式接收吸附有所述靶材的所述靶材固定装置。

其中，所述镜面层为钛合金镜面层。

综上所述，本发明的所述靶材固定装置将所述镜面层与所述靶材依次放置于所述基板上，使得所述靶材吸附贴合于所述镜面层的第一表面，所述镜面层的所述第二表面与所述基板贴合，实现了更换所述靶材时，只需将所述靶材从所述基板上拆除，进而增加了基板的使用寿命，同时节约时间，减少更换靶材所需成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例靶材固定装置的截面示意图，其中包括了靶材。