[发明专利]搬运装置及搬运装置的控制方法有效

专利信息
申请号: 201710272264.6 申请日: 2017-04-24
公开(公告)号: CN107043908B 公开(公告)日: 2019-05-17
发明(设计)人: 陈策;朱晓庆;刘祥超;甘柏林;王晃 申请(专利权)人: 昆山国显光电有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 唐清凯
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 搬运装置 对位标识 对位设备 蒸镀装置 感应信息 车箱 控制电机 预设 对位元件 对位 省力 省时 输出
【说明书】:

发明涉及一种搬运装置。该搬运装置包括车箱、第一对位设备和控制电机。第一对位设备设置于车箱与蒸镀装置对接的一侧,第一对位设备包括第一对位元件,第一对位元件用于感应蒸镀装置上预设的第一对位标识;控制电机与第一对位设备连接,控制电机用于根据第一对位设备的感应信息调整车箱相对于蒸镀装置的方位。本发明还涉及一种控制方法,包括:感应预设的第一对位标识,输出第一感应信息;判断所述第一感应信息是否符合预设的第一对位标识的信息;如果所述第一感应信息不符合所述第一对位标识的信息,则调整所述搬运装置相对于所述蒸镀装置的方位,继续感应所述第一对位标识。上述搬运装置与控制方法,搬运装置与蒸镀装置对位省时省力。

技术领域

本发明涉及真空蒸镀技术领域,特别涉及一种搬运装置及搬运装置的控制方法。

背景技术

OLED(Organic Light Emitting Diode,有机发光二极管)显示面板具有自发光、反应快、亮度高、轻薄等诸多优点,已经逐渐成为显示领域的主流。OLED显示面板的子像素单元包括阳极、发光层和阴极。其中,发光层采用有机电致发光材料形成,目前主要采用掩膜板(Mask)并通过蒸镀工艺制作在各子像素单元中。

在进行上述的蒸镀工艺时,需要将装有多个掩模板的卡匣运送至蒸镀装置的腔体内。首先,将含有卡匣的搬运小车行进至蒸镀装置。然后,工作人员将卡匣放置在蒸镀装置的腔体内部。卡匣中的掩膜板供蒸镀材料使用。

但是,在将卡匣运送至蒸镀装置内的过程中,搬运小车与蒸镀装置的对位过程完全靠手动进行,对位耗时耗力,且对位存在偏差,对位的成功率不高。

发明内容

基于此,有必要针对上述搬运小车与蒸镀装置的对位过程耗时耗力,且对位成功率不高的问题,提供一种搬运装置及搬运装置的控制方法。

一种搬运装置,用于将掩模板搬运至蒸镀装置中。所述搬运装置包括:车箱、第一对位设备和控制电机。所述第一对位设备设置于所述车箱与所述蒸镀装置对接的一侧,所述第一对位设备包括第一对位元件,所述第一对位元件用于感应所述蒸镀装置上预设的第一对位标识并生成第一感应信息;所述控制电机设置于所述车箱内,所述控制电机与所述第一对位设备连接,所述控制电机用于根据所述第一感应信息调整所述车箱相对于所述蒸镀装置的方位。

在其中一个实施中,所述第一对位设备还包括第二对位元件,所述第二对位元件用于感应所述车箱与所述蒸镀装置的距离。

在其中一个实施中,所述第一对位元件包括视觉感应元件,所述第二对位元件包括距离感应元件。

在其中一个实施中,所述搬运装置还包括传动机构、卡匣和第二对位设备,所述传动机构设置于所述车箱内,所述传动机构与所述控制电机连接;所述卡匣位于所述车箱内,且所述卡匣与所述传动机构连接,所述卡匣用于存放所述掩模板;所述第二对位设备设置于所述车箱上与所述蒸镀装置对接的一侧或所述卡匣朝向所述蒸镀装置的一侧,所述第二对位设备与所述控制电机连接,所述第二对位设备用于感应所述蒸镀装置内的卡匣平台并相应生成第二感应信息;所述控制电机根据所述第二感应信息控制所述传动机构将所述卡匣传送至所述卡匣平台上。

在其中一个实施中,所述搬运装置还包括第三对位设备,所述第三对位设备设置于所述车箱的底部,所述第三对位设备用于感应所述车箱与所述蒸镀设备对接路径上预设的第二对位标识,且所述控制电机与所述第三对位设备连接。

上述搬运装置在行进至蒸镀装置的过程中,第一对位元件感应蒸镀装置上预设的第一对位标识,并且将第一感应信息传送至控制电机。第一感应信息表明第一对位元件是否感应到第一对位标识,并且可以反映出第一对位元件是否对准第一对位标识。控制电机根据第一感应信息控制车箱移动,直至车箱与蒸镀装置对准。这样,搬运装置与蒸镀装置通过第一对位元件自动对位,对位省时省力,且对位准确,成功率高。

一种搬运装置的控制方法,用于控制所述搬运装置相对于蒸镀装置的方位,包括:

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