[发明专利]可调平面阴极机构及真空镀膜装置

说明书

一种可调平面阴极机构及真空镀膜装置，包括平面阴极部件及多个移位组件。平面阴极部件包括阴极体基座、背板、靶材压板及多个磁体组件；背板与阴极体基座形成收容腔；靶材压板用于将靶材定位于背板的外侧；多个磁体组件设于收容腔中，多个磁体组件与背板相对而设，且多个磁体组件沿阴极体基座的长度方向分布；多个移位组件分别与多个磁体组件连接，各移位组件能带动对应的磁体组件远离或靠近背板运动，以增大或减小磁体组件与靶材的距离，进而增大或减小靶材与磁体组件相对的表面的磁场强度。该可调平面阴极机构中，多个磁体组件可独立调节靶材上与各磁体组件相对的表面的磁场强度，且通过移位组件实现了靶材表面的磁场强度的自动在线调节。

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域，特别是涉及一种可调平面阴极机构及真空镀膜装置。

背景技术

近年来，平面阴极真空镀膜技术在节能玻璃生产线、显示器玻璃镀膜生产线及钢带镀膜生产线等得到了大规模的应用。然而在镀膜过程中，为了调整工件的镀膜均匀性，需调整可调平面阴极机构的靶材的表面的磁场强度。目前的处理方法是要将生产线停机，打开真空镀膜腔体，将整个可调平面阴极机构拆出来，重新调节可调平面阴极机构的安装位置，进而调整磁场。如此不仅耗时长，而且需要多次调节才能将磁场强度调节到位，因此需要多次拆卸可调平面阴极机构和反复抽真空，整个过程消耗了大量的时间和人力物力。

发明内容

基于此，有必要提供一种在线调节靶材的表面的磁场强度的可调平面阴极机构及真空镀膜装置。

一种可调平面阴极机构，包括：

平面阴极部件，包括阴极体基座、背板、靶材压板及多个磁体组件；所述背板与所述阴极体基座形成收容腔；所述靶材压板用于将靶材定位于所述背板的外侧；所述多个磁体组件设于所述收容腔中，多个所述磁体组件与所述背板相对而设，且多个所述磁体组件沿所述阴极体基座的长度方向分布；及

多个移位组件，分别与多个所述磁体组件连接，各所述移位组件能带动对应的所述磁体组件远离或靠近所述背板运动，以增大或减小所述磁体组件与所述靶材的距离，进而增大或减小所述靶材与所述磁体组件相对的表面的磁场强度。

该可调平面阴极机构中，平面阴极部件的多个磁体组件可独立调节靶材上与各磁体组件相对的表面的磁场强度。此外，该可调平面阴极机构通过移位组件实现了靶材表面的磁场强度的自动调节，无需打开真空镀膜腔体将整个可调平面阴极机构拆出，无需停机，避免了多次拆卸可调平面阴极机构和反复抽真空的过程，实现了在线调节靶材表面的磁场强度，提高了生产效率。

在其中一个实施例中，在所述阴极体基座的长度方向上对应所述磁体组件和所述移位组件，所述阴极体基座分为多个子阴极体基座，所述背板分为多个子背板，所述靶材压板分为多个子靶材压板；所述子阴极体基座和对应的子背板形成子收容腔，所述多个磁体组件分别设于多个子收容腔中，对应的所述子阴极体基座、所述子背板、所述子靶材压板、所述磁体组件和所述移位组件构成所述可调平面阴极机构的结构单元。

在其中一个实施例中，所述移位组件包括驱动件、传动件和连接杆，所述连接杆的两端分别连接于所述传动件和对应的磁体组件，所述驱动件用于驱动所述传动件，所述传动件带动所述连接杆运动，从而使得所述连接杆带动所述磁体组件远离或靠近所述背板运动。

在其中一个实施例中，所述连接杆连接于所述磁体组件的一端位于所述收容腔中，所述连接杆的另一端露出于所述阴极体基座的顶部。

在其中一个实施例中，所述驱动件为电机，所述传动件为转向齿轮箱，所述驱动件的输出轴的轴向与所述连接杆的轴向垂直设置。

在其中一个实施例中，所述磁体组件包括磁体座和磁体，所述磁体安装于所述磁体座上，所述磁体组件的磁体座连接于所述连接杆。

一种真空镀膜装置，包括真空镀膜腔体和上述可调平面阴极机构，所述可调平面阴极机构设于所述真空镀膜腔体内，且所述多个移位组件安装于所述真空镀膜腔体的顶部。