[实用新型]一种乙硅烷生产装置有效
| 申请号： | 201620637047.3 | 申请日： | 2016-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN205709892U | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 黄晓东;谢嵩嶽 | 申请（专利权）人： | 浙江迅鼎半导体材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 生产 装置 | ||
【权利要求书】：
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