[发明专利]一种耐刻蚀性的酚醛系正型光刻胶有效
| 申请号： | 201611198717.7 | 申请日： | 2016-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN106502052B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 孙逊运;吴淑财;谢桂兰;孙毓 | 申请（专利权）人： | 潍坊星泰克微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/00 |
| 代理公司： | 11249 北京中恒高博知识产权代理有限公司 | 代理人： | 钟国 |
| 地址： | 261205 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 酚醛 系正型 光刻 | ||
【权利要求书】：
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