[发明专利]一种真空蒸镀机及其蒸镀方法

说明书

本发明涉及平板显示技术领域，尤其是一种真空蒸镀机，包括控制台，以及安装于所述控制台上的承印台，所述承印台用于承载设置有隔离件的基板；打印装置，其与所述承印台对应设置，用于将各种材料蒸镀于所述基板的、相邻两个隔离件之间的蒸镀区域。本发明的真空蒸镀机避免了使用FMM，免去了FMM定期清洗；重新张网；FMM存储、运输、使用过程中易发生变形等问题，同时还简化了基板传送、承载方式。

技术领域

本发明属于平板显示器技术领域，尤其是对液晶显示器中彩色滤光片的制备工艺进行改进。

背景技术

OLED显示技术较之当前主流的液晶显示技术，具有对比度高、色域广、柔性、轻薄、节能等突出优点。近年来OLED显示技术逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视、白光照明等领域普及，发展势头强劲。

其中，彩色滤光片的品质高度直接影响OLED显示品质的优劣。现有技术中，彩色滤光片的红、绿、蓝三色块(RGB)的制备是采用真空蒸镀机来完成的。而金属掩膜版(FMM)更是现有的真空蒸镀机的必要部件，三色块的制备乃至OLED显示器件的图形化均是使用FMM蒸镀进行。

金属掩膜版的质量高低很大程序影响最终的打印质量，现有FMM图形化技术具有以下不足之处：

(1)FMM需要定期清洗、重新张网；

(2)FMM存储、运输、使用过程中易发生变形；

(3)随着平板显示技术的高解析度化、大尺寸化等发展需求，FMM制造难度提高的问题是制约其发展的重要因素。

故此，人们亟待寻找一种成本更低、更方便的蒸镀机或蒸镀工艺。

附图说明

图1本发明真空蒸镀机的结构示意图。

图2本发明真空蒸镀机的输送管路的剖面结构示意图。

发明内容

为了解决现有技术问题，本发明提供一种真空蒸镀机及其蒸镀方法，能够不使用金属掩膜版就可以完成蒸镀工序。

这种真空蒸镀机，包括控制台，以及

安装于所述控制台上的承印台，所述承印台用于承载设置有隔离件的基板；

打印装置，其与所述承印台对应设置，用于将材料蒸镀于所述基板的、相邻两个隔离件之间的蒸镀区域。

其中，所述控制台还包括驱动装置，所述驱动装置与所述打印装置连接，用于驱动所述打印装置的移动。

其中，所述打印装置包括：

坩埚，用于加热并使所述材料升华或挥发为气态；

打印头，其设置有若干个喷枪，每个所述喷枪用于将所述材料对准所述蒸镀区域喷出；

连接于所述坩埚和所述打印头之间的输料管路；所述输料管路包括混合管以及若干条并联连接于所述混合管上的单管，所述单管、混合管的自由端分别与所述坩埚、打印头连接，用于气态材料的输送。

其中，还包括设置于所述输料管路上的若干个相互独立的温度控制装置，所温度控制装置从内至外依次包括：绕搭于所述输料管路上的加热线圈、包覆于所述加热线圈上的反射层以及包覆于所述反射层外的冷却系统。

其中，所述控制台还包括自动对准系统，所述自动对准系统固定于所述打印装置上，通过读取分别安设于所述打印装置、所述承印台上的第一对准标记、第二对准标记控制所述打印装置、所述承印台准确对位。

其中，所述控制台还包括间距监测系统，用于实时监测所述打印装置、镀膜时所述承印台之间的垂直间距不大于5mm。

其中，所述隔离件高度小于100μm。