[发明专利]一种真空蒸镀机及其蒸镀方法

权利要求书

1.一种真空蒸镀机，其特征在于，包括控制台，以及

安装于所述控制台上的承印台，所述承印台用于承载设置有隔离件的基板；

打印装置，其与所述承印台对应设置，用于将材料蒸镀于所述基板的、相邻两个隔离件之间的蒸镀区域，包括：

坩埚，用于加热并使所述材料升华或挥发为气态；

打印头，其设置有若干个喷枪，每个所述喷枪在所述材料对准所述蒸镀区域后喷出；

连接于所述坩埚和所述打印头之间的输料管路；所述输料管路包括混合管以及若干条并联连接于所述混合管上的单管，所述单管、混合管的自由端分别与所述坩埚、打印头连接，用于气态材料的输送，若干种材料分别从独立的单管被一并送入混合管，进行蒸镀前的混合；

其中，每种材料有独立的坩埚以及独立的单管来完成蒸汽的输送，每条单管均设有若干个相互独立的温度控制装置。

2.根据权利要求1所述的真空蒸镀机，其特征在于，所述控制台还包括驱动装置，所述驱动装置与所述打印装置连接，用于驱动所述打印装置的移动。

3.根据权利要求2所述的真空蒸镀机，其特征在于，还包括设置于所述输料管路上的若干个相互独立的温度控制装置，所述温度控制装置从内至外依次包括：绕搭于所述输料管路上的加热线圈、包覆于所述加热线圈上的反射层以及包覆于所述反射层外的冷却系统。

4.根据权利要求2所述的真空蒸镀机，其特征在于，所述控制台还包括自动对准系统，所述自动对准系统固定于所述打印装置上，通过读取分别位于所述承印台上的基板上的第一对准标记、第二对准标记控制所述打印装置、所述承印台准确对位。

5.根据权利要求2所述的真空蒸镀机，其特征在于，所述控制台还包括间距监测系统，用于实时监测所述打印装置、镀膜时所述承印台之间的垂直间距不大于5mm。

6.根据权利要求2所述的真空蒸镀机，其特征在于，所述隔离件高度小于100μm。

7.根据权利要求2～6任一项所述真空蒸镀机的蒸镀方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一：将预设有隔离件的基板送入承印台；

步骤二：所述驱动装置驱动所述打印装置移动并对准所述基板的蒸镀区域，若干种材料分别从独立的单管被一并送入混合管，进行蒸镀前的混合；

步骤三：所述打印装置将材料喷出、蒸镀至所述基板的蒸镀区域上形成一个子像素；

重复所述步骤二、步骤三，直至完成整个基板的蒸镀工序。