[发明专利]一种读出电路铟球获取方法

说明书

技术领域

本发明涉及红外焦平面探测器技术领域，特别涉及一种读出电路铟球获取方法。

背景技术

目前，红外焦平面探测器的倒装互连从原理上可以分为两种：一种是只在读出电路端生长铟柱的单铟柱互连；另一种是探测器端和读出电路端均生长铟柱的双面铟柱互连，这两种方法各有优缺点。

第一种方法可以不需要在红外焦平面探测器上面进行铟柱的生长，不会对探测器性能产生损伤，而且减少了工艺步骤，缩短工艺时长，有利于产能提升。

第二种双面铟柱的互连方式是红外焦平面探测器技术另外一种方式，即读出电路和探测器均生长铟柱后进行互连。这种方式可以提高铟柱高度，最终完成互连。

当采用第一种方法时，需要在读出电路端生长出足够高的铟柱，但目前由于受工艺以及设备所限制，并不能够获得足够高的铟柱进行互连。

发明内容

为了在读出电路端生长出足够高的铟柱，本发明提供了一种读出电路铟球获取方法。

本发明提供的读出电路铟球获取方法，包括以下步骤：

在读出电路上生长铟柱；

配置成球液，并将所述成球液加热至预设温度，得到起球液；

将带有铟柱的读出电路浸入所述起球液中保持预设时间，得到铟球。

本发明有益效果如下：

本发明实施例通过将铟柱融化成球的方式大幅增加读出电路铟球高度，具有铟球的红外焦平面读出电路与探测器互联效果牢固，可靠性强，为共片技术提供了基础。

附图说明

图1是本发明实施例读出电路铟球获取方法的流程图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

为了在读出电路端生长出足够高的铟柱，本发明提供了一种读出电路铟球获取方法，以下结合附图以及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不限定本发明。

根据本发明的实施例，提供了一种读出电路铟球获取方法，图1是本发明实施例读出电路铟球获取方法的流程图，如图1所示，根据本发明实施例的读出电路铟球获取方法包括如下处理：

步骤101，在读出电路上生长铟柱。

具体的，步骤101在读出电路上生长铟柱包括以下步骤：

在读出电路上生长打底层；

在所述打底层上生长铟柱。

具体的，所述打底层为易与铟结合的材料，更加具体的，所述打底层材质为尺寸为Φ5的钛层、钯层、金层，所述钛层、钯层、金层厚度分别为0.3μm、0.2μm、0.3μm；通过热蒸发的方式将铟蒸发在打底层上。

具体的，在读出电路上生长铟柱之后还包括以下步骤：

去除带有铟柱的读出电路表面的铟渣。

虽然铟的性质柔软，可塑性强，并有延展性，但其粘度大，所以很难去除去其铟渣，顾将所需部分使用光刻胶保护起来，再使用酸将需要去除铟渣的地方进行去渣处理，通过此种方法将读出电路表面的铟渣尽可能的去除干净。

具体的，去除带有铟柱的读出电路表面的铟渣包括以下步骤：

在所述铟柱表面涂光刻胶后，将带有铟柱的读出电路在酸溶液中进行超声处理，以去除读出电路表面的铟渣，其中，所述酸溶液中按体积比，丙酮：水：乙醇＝2：1：1；

去除所述铟柱表面的光刻胶。具体的，可使用丙酮浸泡去除所述铟柱表面的光刻胶。

步骤102，配置成球液，并将所述成球液加热至预设温度，得到起球液。

具体的，起球液是以耐高温的有机溶剂为主要原料，配以氯化锌为辅助原料。所述耐高温的有机溶剂可以为乙二醇等，所述起球液中乙二醇与氯化锌体积质量比为400～600ml：25～50g。作为一种具体的实施方式，所述成球液可以为500ml乙二醇与30g的氯化锌组成的混合物。

所述起球液在制备方法为在有机溶剂中加入氯化锌粉末，并通过混胶去泡机进行混合，放置1～2周。

具体的，在定制的8-20mm厚的耐高温容器中，并将所述成球液加热至预设温度，得到起球液。所述预设温度为150～200℃，优选为150℃。温度过低会成球失败，温度过高会对成球后铟球表面产生化学反应，使得铟球边缘出现异物，影响互连效果。

步骤103，将带有铟柱的读出电路浸入所述起球液中保持预设时间，得到铟球。