[发明专利]一种读出电路铟球获取方法在审
申请号: | 201611136602.5 | 申请日: | 2016-12-12 |
公开(公告)号: | CN106653945A | 公开(公告)日: | 2017-05-10 |
发明(设计)人: | 王骏;谢珩;张敏 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 工业和信息化部电子专利中心11010 | 代理人: | 于金平 |
地址: | 100015*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 读出 电路 获取 方法 | ||
1.一种读出电路铟球获取方法,其特征在于,包括以下步骤:
在读出电路上生长铟柱;
配置成球液,并将所述成球液加热至预设温度,得到起球液;
将带有铟柱的读出电路浸入所述起球液中保持预设时间,得到铟球。
2.如权利要求1所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,在读出电路上生长铟柱包括以下步骤:
在读出电路上生长打底层;
在所述打底层上生长铟柱。
3.如权利要求1所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,在读出电路上生长铟柱之后包括以下步骤:
去除带有铟柱的读出电路表面的铟渣。
4.如权利要求3所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,去除带有铟柱的读出电路表面的铟渣包括以下步骤:
在所述铟柱表面涂光刻胶后,将带有铟柱的读出电路在酸溶液中进行超声处理,以去除读出电路表面的铟渣;
去除所述铟柱表面的光刻胶。
5.如权利要求1所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,所述成球液为有机溶剂与氯化锌组成的混合物。
6.如权利要求5所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,所述有机溶剂为乙二醇。
7.如权利要求6所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,所述起球液中乙二醇与氯化锌体积质量比为400~600ml:25~50g。
8.如权利要求1所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,所述预设温度为150~200℃。
9.如权利要求1所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,所述预设时间为5~10分钟。
10.如权利要求1所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,将带有铟柱的读出电路浸入所述起球液中保持预设时间,得到铟球之后还包括以下步骤:去除带有铟球的读出电路表面的成球液。
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