[发明专利]一种读出电路铟球获取方法在审

专利信息
申请号: 201611136602.5 申请日: 2016-12-12
公开(公告)号: CN106653945A 公开(公告)日: 2017-05-10
发明(设计)人: 王骏;谢珩;张敏 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十一研究所
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 工业和信息化部电子专利中心11010 代理人: 于金平
地址: 100015*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 读出 电路 获取 方法
【权利要求书】:

1.一种读出电路铟球获取方法,其特征在于,包括以下步骤:

在读出电路上生长铟柱;

配置成球液,并将所述成球液加热至预设温度,得到起球液;

将带有铟柱的读出电路浸入所述起球液中保持预设时间,得到铟球。

2.如权利要求1所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,在读出电路上生长铟柱包括以下步骤:

在读出电路上生长打底层;

在所述打底层上生长铟柱。

3.如权利要求1所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,在读出电路上生长铟柱之后包括以下步骤:

去除带有铟柱的读出电路表面的铟渣。

4.如权利要求3所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,去除带有铟柱的读出电路表面的铟渣包括以下步骤:

在所述铟柱表面涂光刻胶后,将带有铟柱的读出电路在酸溶液中进行超声处理,以去除读出电路表面的铟渣;

去除所述铟柱表面的光刻胶。

5.如权利要求1所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,所述成球液为有机溶剂与氯化锌组成的混合物。

6.如权利要求5所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,所述有机溶剂为乙二醇。

7.如权利要求6所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,所述起球液中乙二醇与氯化锌体积质量比为400~600ml:25~50g。

8.如权利要求1所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,所述预设温度为150~200℃。

9.如权利要求1所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,所述预设时间为5~10分钟。

10.如权利要求1所述的读出电路铟球获取方法,其特征在于,将带有铟柱的读出电路浸入所述起球液中保持预设时间,得到铟球之后还包括以下步骤:去除带有铟球的读出电路表面的成球液。

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