[发明专利]靶材组件的制造方法

权利要求书

1.一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：

提供钼铌靶坯和背板，所述钼铌靶坯的待焊接面为第一焊接面，所述背板的待焊接面为第二焊接面；

对所述第一焊接面进行表面喷砂处理；

对所述第一焊接面进行表面喷砂处理后，在所述第一焊接面上涂覆第一焊料层；

在所述第二焊接面上涂覆第二焊料层；

将涂覆有所述第一焊料层的第一焊接面与涂覆有所述第二焊料层的所述第二焊接面相对设置并贴合，通过焊接工艺将所述钼铌靶坯焊接至所述背板上，以形成靶材组件。

2.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述背板的材料为铜；或者，所述背板的材料为铜和不锈钢的混合材料。

3.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述第一焊料层和所述第二焊料层的材料均为铟。

4.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述第一焊料层和所述第二焊料层的材料均为纯铟，且铟的质量百分比含量大于或等于99.9％。

5.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，对所述第一焊接面进行表面喷砂处理后，所述第一焊接面形成平均深度为3μm至5μm的粗糙层。

6.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述表面喷砂处理的参数包括：采用的砂粒为46号白刚玉，采用的气压范围为5Mpa至7Mpa。

7.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述表面喷砂处理的步骤包括：采用喷砂枪的喷嘴向所述第一焊接面喷出砂粒；

所述表面喷砂处理的步骤中，所述喷嘴与所述第一焊接面之间的距离为200mm至400mm；

所述表面喷砂处理的步骤中，所述喷嘴喷出砂粒的方向与所述第一焊接面法线之间的夹角为大于0度且小于90度。

8.如权利要求7所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述喷嘴喷出砂粒的方向与所述第一焊接面法线之间的夹角为30度至60度。

9.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，对所述第一焊接面进行表面喷砂处理后，在所述第一焊接面上涂覆第一焊料层之前，所述制造方法还包括：采用异丙醇溶液对所述钼铌靶坯进行清洗处理；完成所述清洗处理后，对所述钼铌靶坯进行干燥处理。

10.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，在所述第一焊接面上涂覆第一焊料层、在所述第二焊接面上涂覆第二焊料层的步骤包括：

将所述钼铌靶坯置于第一加热板上，将所述背板置于第二加热板上；

通过所述第一加热板加热所述钼铌靶坯，通过第二加热板加热所述背板，将所述钼铌靶坯和所述背板加热至预设温度；

将所述钼铌靶坯和所述背板加热至预设温度后，分别在所述第一焊接面和第二焊接面上放置焊料，使位于所述第一焊接面和第二焊接面上的焊料熔化，在所述第一焊接面上形成呈熔融流体状的第一焊料层，且在所述第二焊接面上形成呈熔融流体状的第二焊料层。

11.如权利要求10所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，将所述钼铌靶坯和所述背板加热至预设温度的步骤中，所述预设温度为200℃至220℃。

12.如权利要求10所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，使位于所述第二焊接面上的焊料熔化后，将所述第一焊接面与第二焊接面相对设置并贴合之前，所述制造方法还包括：在所述第二焊接面上熔化的焊料中放置金属丝杆。

13.如权利要求12所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述金属丝杆的直径为2mm至3mm。

14.如权利要求12所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述金属丝杆的材料为铜、钼或镍。