[发明专利]产生气体分析装置以及产生气体分析方法有效
申请号: | 201611016231.7 | 申请日: | 2016-11-18 |
公开(公告)号: | CN107037071B | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 秋山秀之;渡边将史;丸冈干太郎 | 申请(专利权)人: | 日本株式会社日立高新技术科学 |
主分类号: | G01N25/00 | 分类号: | G01N25/00;G01N1/44;G01F1/76 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 李婷;傅永霄 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 产生 气体 分析 装置 以及 方法 | ||
本发明提供在不使装置大型化的情况下提高气体成分的检测精度的产生气体分析装置。产生气体分析装置(200)具备:加热部(10),加热试料(S)而产生气体成分(G);检测机构(110),检测在加热部生成的气体成分;气体流路(41),连接加热部与检测机构之间,供气体成分与将该气体成分向检测机构引导的运载气体(C)的混合气体(M)流通;该产生气体分析装置的特征在于,气体流路具有向外部开放的分支路(42),分支路具有调整混合气体向外部的排出流量的排出流量调整机构(42a),还具备流量控制部(216),该流量控制部基于来自检测机构的检测信号控制排出流量调整机构,使得该检测信号在既定的范围内。
技术领域
本发明涉及对加热试料而产生的气体成分进行分析、进行试料的辨识和定量等的产生气体分析装置以及产生气体分析方法。
背景技术
为了确保树脂的柔软性,在树脂中包含有钛酸酯等可塑剂,对于四种钛酸酯,根据欧洲特定有害物质规制(RoHS)限制其2019年以后的使用。因此,需要对树脂中的钛酸酯进行辨识以及定量。
钛酸酯是挥发性成分,因此能应用以往众所周知的产生气体分析(EGA:EvolvedGas Analysis)来进行分析。该产生气体分析是对加热试料而产生的气体成分用气相色谱仪和质量分析等各种分析装置进行分析的方法。
在产生气体分析中,使产生的气体成分流通到氮气等运载气体中而导入分析装置。但是,若气体成分大量地产生而气体浓度变得过高,则存在超出分析装置的检测范围而检测信号超量程、测定变得不正确的问题。
因此,公开有如下的技术(专利文献1、2):在分析装置的检测信号超出检测范围时,增加与气体成分混合的运载气体流量而稀释气体成分,降低气体浓度。
专利文献1:日本特开2001-28251号公报。
专利文献2:日本特开2012-202887号公报。
但是,在专利文献1、2记载的技术的情况下,在气体浓度变高时增加运载气体流量,因此需要增大运载气体的供给能力,导致装置的大型化和成本的增加。
另外,在作为分析装置使用质量分析计时,在其前段将气体成分离子化。但是,若气体成分中包含不是测定对象的副成分,则在气体成分大量地产生时副成分大量地离子化,原本想令其离子化的测定对象的成分未充分地离子化,测定对象的检测信号反而下降(离子抑制)。专利文献1、2记载的技术难以对应这样的情况。
发明内容
因此,本发明是为了解决上述课题而做成的,其目的在于提供在不使装置大型化的情况下提高气体成分的检测精度的产生气体分析装置 以及产生气体分析方法。
为了实现上述目的,本发明的产生气体分析装置具备:加热部,加热试料而产生气体成分;检测机构,检测在该加热部生成的前述气体成分;气体流路,连接前述加热部与前述检测机构之间,供前述气体成分与运载气体的混合气体流通,前述运载气体将该气体成分向前述检测机构引导;该产生气体分析装置的特征在于,前述气体流路具有向外部开放的分支路,前述分支路具有调整前述混合气体向外部的排出流量的排出流量调整机构,还具备流量控制部,该流量控制部基于来自前述检测机构的检测信号,控制前述排出流量调整机构,使得该检测信号在既定的范围内。
根据该产生气体分析装置,在气体成分大量地产生而气体浓度变得过高时,增加从分支路向外部排出的混合气体的流量,减少从气体流路向检测机构侧导入的混合气体的流量。由此,能抑制超出检测机构的检测范围而检测信号超量程而测定变得不正确的情况。
此时,只要调整从分支路向外部排出的流量即可,不需要增加运载气体流量,因此能在不增大运载气体的供给能力、不使装置大型化的情况下,提高气体成分的检测精度。
也可以具有对前述气体流路或者前述分支路进行加热或者保温的保温部。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本株式会社日立高新技术科学,未经日本株式会社日立高新技术科学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201611016231.7/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。