[发明专利]一种碳化硅单晶炉用监控系统在审
| 申请号： | 201610453107.0 | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN107523873A | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 袁玉平;闫鹏;袁佳斌 | 申请（专利权）人： | 江苏拜尔特光电设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 宜兴市天宇知识产权事务所(普通合伙)32208 | 代理人： | 丁骞 |
| 地址： | 214264 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 单晶炉用 监控 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳化硅单晶炉用监控系统，其特征在于：它包括主控制器（1），在所述主控制器（1）一侧连接设有压力模块（2）和温度模块（3），它们与报警模块（4）相连，所述报警模块（4）与故障定位模块（5）相连，所述故障定位模块（5）与主控制器（1）相连，在所述主控制器（1）另一侧连接设有远程控制模块（6）和显示模块（7）。
2.根据权利要求1所述的碳化硅单晶炉用监控系统，其特征在于：在所述主控制器（1）上连接设有能耗计量模块（8）。
3.根据权利要求1所述的碳化硅单晶炉用监控系统，其特征在于：所述主控制器（1）与备用控制器（9）相连。
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