[发明专利]一种基于冗余金属的过孔结构及电迁移修正方法有效
| 申请号： | 201610341770.1 | 申请日： | 2016-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN105845664B | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 陈晓明;耿保林;李松松;张建伟 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | H01L23/538 | 分类号： | H01L23/538;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人： | 朱黎光;雷利平 |
| 地址： | 116024 辽宁省大连市高新*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 冗余 金属 结构 迁移 修正 方法 | ||
【权利要求书】：
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