[实用新型]磁控溅射圆柱靶的靶芯结构

权利要求书

1.磁控溅射圆柱靶的靶芯结构，包括圆柱靶管以及其内设的靶芯，所述靶芯包括芯铁、至少三条长条形强磁钢以及配重，其特征在于，所述芯铁上设置有至少三条长条形沟槽，所述长条形沟槽的上面安装有强磁场均匀的长条形强磁钢，所述长条形强磁钢的两端各安装有弱磁钢，所述弱磁钢的磁场强度为位于中间安装的长条形强磁钢的磁场强度的30%至60%，所述芯铁的外面设置有只用来密封长条形强磁钢和弱磁钢的不锈钢罩装置，该装置是由不锈钢薄板偎成盒子，罩在长条形强磁钢和弱磁钢上，不锈钢盒子与芯铁之间通过橡胶板密封，并使用螺钉压紧固定，所述长条形强磁钢、弱磁钢和配重的外面罩有热缩管，并通过热缩管将靶芯、长条形强磁钢、弱磁钢以及配重的完全密封住。