[实用新型]一种电熔丝结构有效
| 申请号： | 201420226039.0 | 申请日： | 2014-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN203826373U | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 甘正浩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电熔丝 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种电熔丝结构，其特征在于，所述电熔丝结构至少包括：第一端子、第二端子以及连接所述第一端子和第二端子的互连结构；所述第一端子和所述第二端子上至少设置有一个接近于所述互连结构且垂直于所述互连结构的长条形接触电极。
2.根据权利要求1所述的电熔丝结构，其特征在于：所述长条形接触电极的长度不小于所述互连结构的宽度。
3.根据权利要求2所述的电熔丝结构，其特征在于：所述长条形接触电极的长度设定为100nm～1000nm。
4.根据权利要求3所述的电熔丝结构，其特征在于：所述互连结构的宽度设定为50nm～250nm。
5.根据权利要求1所述的电熔丝结构，其特征在于：所述长条形接触电极到所述互连结构的距离设定为10nm～200nm。
6.根据权利要求1所述的电熔丝结构，其特征在于：所述第一端子及所述第二端子上的接触电极在所述互连结构的长度方向上对称设置。
7.根据权利要求1所述的电熔丝结构，其特征在于：所述第一端子为阳极端，第二端子为阴极端。
8.根据权利要求1所述的电熔丝结构，其特征在于：所述第一端子的尺寸小于所述第二端子的尺寸。
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