[发明专利]一种引线框架镀铜方法及引线框架、引线框架排有效
申请号: | 201410250793.2 | 申请日: | 2014-06-06 |
公开(公告)号: | CN104112705B | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 郑康定;曹光伟;冯小龙;段华平;马叶军 | 申请(专利权)人: | 宁波康强电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/768 | 分类号: | H01L21/768;H01L23/495 |
代理公司: | 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(普通合伙)33243 | 代理人: | 张向飞 |
地址: | 315100 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 引线 框架 镀铜 方法 | ||
1.一种引线框架镀铜方法,所述引线框架基体由铝合金制成,其特征在于:所述镀铜方法包括步骤:
S1:脱脂去油,药水成分及含量:
氢氧化钠:45%,偏硅酸钠:40%,除油剂:40g/L,在50℃-70℃进行脱脂去油;
S2:预镀:电镀液配方及含量为:
硫酸镍:700g/L,硫酸钠:10g/L,氯化镍:25g/L,氯化钠:5g/L;
电镀参数为:温度:90℃,电流密度:170A/dm2,电镀液pH:4;
S3:镀铜:电镀液配方及含量为:
硫酸铜:150g/L,氯化铜:30g/L,盐酸:40mol/L,铜光亮剂:0.3g/L;
其中所述铝合金按照质量百分比包括:镁:1.5%、硅:0.8%、铜:0.2%、锰:0.2%、铬:0.3%、锆:0.25%,余量为铝以及不可避免的杂质;
在步骤S1和S2之间还包括浸锌步骤,所述浸锌步骤包括:
一次浸锌步骤:将去油后的铝合金基体放入锌离子浓度为45g/L,三氧化铁浓度为70g/L,氢氧化钠浓度为250g/L的混合溶液中浸锌,浸锌温度60℃;而后再用温度为50℃的清水洗涤;
一次酸洗步骤:将一次浸锌后的铝合金基体放入浓度为100g/L,温度为40℃的硝酸溶液酸洗;
二次浸锌步骤:将酸洗后的铝合金基体放入每升含有400克氧化铁,75克氢氧化钠的混合液中二次浸锌,混合液温度为60℃;
二次酸洗步骤:将二次浸锌后的铝合金基体放入浓度为750g/L的硝酸溶液中二次酸洗,酸洗时间25分钟,酸洗温度55℃;
三次浸锌步骤:将二次酸洗后的铝合金基体放入锌离子浓度为25g/L的溶液中三次浸锌,三次浸锌温度25℃;
抗氧化处理;将镀铜后的引线框架放入苯并三氮唑浓度为1g/L,硫酸锌浓度为0.6g/L,硫基苯并噻唑浓度为2g/L的混合液中处理5-10分钟。
2.根据权利要求1所述的引线框架镀铜方法,其特征在于:镀锌层厚度为0.1-0.5微米,镀镍层厚度为0.2-3微米,镀铜层厚度为3-20微米。
3.一种由权利要求1或2所述的引线框架镀铜方法制得的引线框架,其特征在于:包括芯片座和分布在所述芯片座一侧的多根引线,所述多根引线包括芯片引线和接脚引线,所述芯片引线与所述芯片座连接,所述接脚引线与所述芯片座断开,所述多根引线为片状并在同一平面上,所述芯片座为片状且与所述引线所在平面平行而不共面。
4.根据权利要求3所述的引线框架,其特征在于:所述多根引线相互平行。
5.一种引线框架排,其特征在于:为一金属条中冲压或蚀刻形成的多个依次连接的权利要求3或4所述的引线框架,每个连接片一侧与芯片座的另一侧连接,多个连接片前后相接成一排。
6.如权利要求5所述的引线框架排,其特征在于:每个所述连接片与所述引线框架的芯片座相接,且相接处的表面刻有至少一道槽,所述槽延伸至相接处的整个延伸长度。
7.如权利要求6所述的引线框架排,其特征在于所述槽的深度大于所述连接片厚度的十分之一。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造