[实用新型]一种光纤阵列U槽结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及光通讯领域，尤其是一种光纤阵列U槽结构。

背景技术

随着光纤通信产业的复苏以及FTTX的发展，平面光波导分路器（PLC分路器）市场的春天也随之到来。PLC分路器的作用是把多个波长的光合在一起，或者是把含有多个波长的光逐一分开，具有很好的应用前景。平面光波导器件在封装时需要将裸光纤与器件输入输出端做粘合，这就需要一种V型槽来将光纤固定。

传统意义上的V型槽都是用金钢刀划出的，但此种工艺存在成本高，对于多通道器件制作精度低等缺陷。此外，传统意义上的V型槽没有单独空间容纳粘合时的胶，封闭工艺的不稳定。

发明内容

为解决上述V型槽存在问题，本实用新型提供了一种光纤阵列U槽结构。

一种光纤阵列U槽结构，其特征在于：由若干个在石英基片上平行排列的凹槽与倒梯型结构组成，各凹槽的中心间隔为50-100微米。

所述的凹槽的横截面为长方形，可以保证在后续粘胶的过程中，胶不会溢出且可以将上盖板与下面器件粘合在一起。

所述的凹槽内部沉积一层厚度为0.1-1微米的铬层。

所述的倒梯型结构为位于凹槽中间，其上端宽度小于凹槽宽度，系用氢氟酸在凹槽中用腐蚀所得。

所述的倒梯型结构的两个倾斜边夹角为90-100度，深度为50-60微米，用来卡住光纤，将光纤固定。

本实用新型和已有技术相比较，其效果是积极和明显的。本实用新型提供了一种光纤阵列U槽结构，可以保证各U槽中心间隔的准确性。在多通道器件制作过程中，比起传统用金钢刀划片方式有着明显的优势。原传统方式是机械方式的，精度完全依靠机械的位移精度，而实际划片时都存在误差，所以通道越多误差越大。本U槽结构的制版精度为0.1微米。此外，传统意义上的V型槽没有单独空间容纳粘合时的胶，封闭工艺的不稳定。本U槽结构的凹槽的横截面为长方形，可以保证在后续粘胶的过程中，胶不会溢出且可以将上盖板与下面器件粘合在一起，封闭工艺比较的稳定。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。

如图1所示，一种光纤阵列U槽结构，其特征在于：由若干个在石英基片上平行排列的凹槽1与倒梯型结构2组成，各凹槽1的中心间隔为50-100微米。

所述的凹槽1的横截面为长方形，可以保证在后续粘胶的过程中，胶不会溢出且可以将上盖板与下面器件粘合在一起。

所述的凹槽1内部沉积一层厚度为0.1-1微米的铬层。

所述的倒梯型结构2为位于凹槽1中间，其上端宽度小于凹槽1宽度，系用氢氟酸在凹槽1中用腐蚀所得。

所述的倒梯型结构2的两个倾斜边夹角为90-100度，深度为50-60微米，用来卡住光纤，将光纤固定。

当然，上述说明并非是对本实用新型的限制，本实用新型也并不仅限于上述举例，本技术领域的普通技术人员在本实用新型的实质范围内做出的变化、改型、添加或替换，也应属于本实用新型的保护范围。