[实用新型]一种光纤阵列U槽结构有效
| 申请号： | 201320771206.5 | 申请日： | 2013-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN203587830U | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 吕耀安;翟继鑫 | 申请（专利权）人： | 无锡宏纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新区清*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 阵列 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种光纤阵列U槽结构，其特征在于：由若干个在石英基片上平行排列的凹槽与倒梯型结构组成，各凹槽的中心间隔为50-100微米。
2.如权利要求1所述的一种光纤阵列U槽结构，其特征在于：所述的凹槽的横截面为长方形，可以保证在后续粘胶的过程中，胶不会溢出且可以将上盖板与下面器件粘合在一起。
3.如权利要求1所述的一种光纤阵列U槽结构，其特征在于：所述的凹槽内部沉积一层厚度为0.1-1微米的铬层。
4.如权利要求1所述的一种光纤阵列U槽结构，其特征在于：所述的倒梯型结构为位于凹槽中间，其上端宽度小于凹槽宽度，系用氢氟酸在凹槽中用腐蚀所得。
5.如权利要求1所述的一种光纤阵列U槽结构，其特征在于：所述的倒梯型结构的两个倾斜边夹角为90-100度，深度为50-60微米，用来卡住光纤，将光纤固定。
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