[实用新型]磁控溅射铝镜生产线破真空充气装置有效
| 申请号： | 201320482005.3 | 申请日： | 2013-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN203440440U | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 郭玉芬;丁秀芳;庄慧显;赵彬;曹本伟;董磊;丁波;尹怀秀 | 申请（专利权）人： | 青岛环球集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 王连君 |
| 地址： | 266400 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 生产线 真空 充气 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型的磁控溅射铝镜生产线破真空充气装置，包括充气阀、内分流槽、内分流槽端板、外分流槽、外分流槽端板，其特征在于，所述内分流槽和所述外分流槽分别焊接在所述充气口上；所述内分流槽端板和所述外分流槽端板分别焊在所述内分流槽和所述外分流槽的两端；所述充气阀与真空室连接的过流口面积比充气阀进气口面积大，所述内分流槽的两侧和底面除正对着充气口方向的位置之外均钻有若干小孔，其小孔总面积大于充气阀的过流口面积；所述外分流槽的两侧及底面钻有若干小孔，其小孔总面积大于内分流槽小孔的总面积。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射铝镜生产线破真空充气装置，其特征在于，所述内分流与所述外分流槽上各自钻有的小孔，其位置相互错开。
3.根据权利要求1或2所述的磁控溅射铝镜生产线破真空充气装置，其特征在于，所述内分流槽端板和所述外分流槽端板上分别钻有若干小孔。
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