[实用新型]一种曝光机台框有效
申请号: | 201320220387.2 | 申请日: | 2013-04-26 |
公开(公告)号: | CN203275874U | 公开(公告)日: | 2013-11-06 |
发明(设计)人: | 袁强;刘长征 | 申请(专利权)人: | 东莞市海圣光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 东莞市中正知识产权事务所 44231 | 代理人: | 刘林 |
地址: | 523000 广东省东莞市长安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 机台 | ||
技术领域
本实用新型属于曝光机领域,具体是涉及一种曝光机台框。
背景技术
目前,在生产TP(触摸屏)产品的曝光制程过程中,由于TP原料为很软的透明或半透明的基板,其放在平板上会有翘曲变形现象,使用传统的玻璃对玻璃设备都难于保证产品品质及良率。而在自动机上则有一带气孔的平台,产品放上后会有负压将基板吸附在平台上,再进行曝光,保证了产品的品质及良率,但是其成本昂贵,制约了中小企业的采购需求,难于得到广泛的普及应用。
实用新型内容
本实用新型针对现有技术的不足,提供一种曝光机台框;其以结构简单,使用方便,成本低廉和能保证产品的品质及良率的特点而深具实用性。
为了达到上述目的,本实用新型一种曝光机台框,主要包括一台框,该台框由上台框和下台框连接而成;所述上台框与下台框的连接处装设有轴承线轨组合装置,以保证上台框、下台框重复翻合的精度;所述上台框上载有光学玻璃,光学玻璃可吸附印有需要生产产品图形的菲林(若需要更高要求的品质时,可将光学玻璃自行更换成光罩),该上台框的下端设有用于吸室真空的气封;而所述下台框上则设有吸室真空孔位。
优选地,所述轴承线轨组合装置为一种线性滑块与轴承组合的装置。
优选地,所述台框上装设有气撑杆,以进一步保证上台框、下台框重复翻合的精度。
使用时手动开启台框,翻开上台框并放置产品在下台框的平台上,选择吸真空功能,产品会被吸室真空孔位吸附在平台上,闭合上台框,通过轴承线轨组合装置及气封密封抽真空,使上台框与下台框近似平行,以让上台框上的光学玻璃与产品近似接触,从而减少了品质不稳定的干扰因素,进而提高了产品的品质。
此结构不但简单,使用方便,而且成本低廉,能保证产品的品质及良率;其实用性强。
附图说明
图1为本实用新型的台框结构示意图;
图2为本实用新型的下台框示意图。
其中,1为上台框,11为光学玻璃,12为气封,2为下台框,21为吸室真空孔位,3为轴承线轨组合装置,4为气撑杆。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述,但不做为对本实用新型的限定。
参照图1~2,从图1~2中可以看出,本实用新型实施例一种曝光机台框,主要包括一台框,该台框由上台框1和下台框2连接而成,该台框上装设有气撑杆4,以提高上台框1、下台框2重复翻合的精度;所述上台框1与下台框2的连接处装设有轴承线轨组合装置3,以保证上台框1、下台框2重复翻合的精度;所述上台框1上载有光学玻璃11,光学玻璃11可吸附印有需要生产产品图形的菲林(若需要更高要求的品质时,可将光学玻璃11自行更换成光罩),该上台框1的下端设有用于吸室真空的气封12;而所述下台框2上则设有吸室真空孔位21。
需要说明的是,所述轴承线轨组合装置3为一种线性滑块与轴承组合的装置。使用时手动开启台框,翻开上台框1并放置产品在下台框2的平台上,选择吸真空功能,产品会被吸室真空孔位21吸附在平台上,闭合上台框1,通过轴承线轨组合装置3及气封12密封抽真空,使上台框1与下台框2近似平行,以让上台框1上的光学玻璃11与产品近似接触,从而减少了品质不稳定的干扰因素,进而提高了产品的品质。
此结构不但简单,使用方便,而且成本低廉,能保证产品的品质及良率;其实用性强。
以上已将本实用新型做一详细说明,但显而易见,本领域的技术人员可以进行各种改变和改进,而不背离所附权利要求书所限定的本实用新型的范围。
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