[实用新型]一种曝光机台框有效
| 申请号： | 201320220387.2 | 申请日： | 2013-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN203275874U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 袁强;刘长征 | 申请（专利权）人： | 东莞市海圣光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所 44231 | 代理人： | 刘林 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市长安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 机台 | ||
【权利要求书】：
1.一种曝光机台框，主要包括一台框，该台框由上台框和下台框连接而成，其特征在于：所述上台框与下台框的连接处装设有轴承线轨组合装置；所述上台框上载有光学玻璃，该上台框的下端设有用于吸室真空的气封；而所述下台框上则设有吸室真空孔位。
2.根据权利要求1所述的一种曝光机台框，其特征在于：所述轴承线轨组合装置为一种线性滑块与轴承组合的装置。
3.根据权利要求1所述的一种曝光机台框，其特征在于：所述台框上装设有用于保证上台框、下台框重复翻合精度的气撑杆。
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