[发明专利]一种提高三氯氢硅ICP杂质检测过程中硼、磷富集率的方法

权利要求书

1.一种提高三氯氢硅ICP杂质检测过程中硼、磷富集率的方法，其特征是：首先用移液管在坩锅内加入分为数滴的超纯水，称取一定量的三氯氢硅于坩埚里，超纯水与三氯氢硅的体积比为1：20，将坩埚放在电热板上低温挥发至干、冷却，先后缓慢加入硝酸和氢氟酸，待水解物全溶解后再用电热板于60℃加热3-5分钟后取下冷却，将溶液移入容量瓶中，并用超纯水冲洗坩锅内壁3～5次，洗液一并倒入容量瓶中，以超纯水定容，用国家B、P标准溶液配置混合标准溶液，根据标准溶液浓度梯度的测定结果绘制出B、P的标准曲线，最后用电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP)或电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定溶液杂质的含量。

2.如权利要求1所述的一种提高三氯氢硅ICP杂质检测过程中硼、磷富集率的方法，其特征是：HNO₃、HF必须是电子级的，之后经过2次亚沸蒸馏提纯，加入的HNO₃、HF摩尔比为3：1，三氯氢硅样品与HF的摩尔比为1：5以上。

3.如权利要求1所述的一种提高三氯氢硅ICP杂质检测过程中硼、磷富集率的方法，其特征是：超纯水是二次离子交换水，电阻率达到18.2M·Ω/cm。

4.如权利要求1所述的一种提高三氯氢硅ICP杂质检测过程中硼、磷富集率的方法，其特征是：B和P的国家标准溶液是：硼标准溶液国家标准物质GSB G62008-90 1000μg/mL、磷标准溶液国家标准物质GSB G62008-90 1000μg/mL。

5.如权利要求1所述的一种提高三氯氢硅ICP杂质检测过程中硼、磷富集率的方法，其特征是：硼磷混合标准溶液的配置是分别移取硼、磷标准溶液1mL于100mL容量瓶中，加入10mL硝酸，加水稀释至刻度线，摇匀，此标准溶液硼、磷分别为10mg/L。