[发明专利]调节激光频率的方法及激光频率调节系统

说明书

技术领域

本发明涉及平板显示技术，尤其涉及一种调节激光频率的方法及激光频率调节系统。

背景技术

近年来显示技术发展很快，平板显示器以其完全不同的显示和制造技术使之同传统的视频图像显示器有很大的差别。传统的视频图像显示器主要为阴极射线管CRT(Cathode ray tubes)；而平板显示器与之的主要区别在于重量和体积(厚度)方面的变化，通常平板显示器的厚度不超过10cm，当然还有其他的不同，如显示原理、制造材料、工艺以及视频图像显示驱动方面的各项技术等。

平板显示器具有完全平面化、轻、薄、省电等特点，并朝着高分辨率、低功耗、高集成度的方向发展，但传统的非晶硅受限于自身的特性无法满足上述要求，作为非晶硅的最佳替代者——多晶硅能够满足平板显示器未来发展的需求，因此低温多晶硅（LTPS）显示技术成为显示领域的宠儿。

作为低温多晶硅显示技术的核心工艺环节，多晶硅的制作方式及材料特性决定着显示器的性能。目前已知的多晶硅制备方式包括：低压化学气相沉积（LPCVD）、固相结晶、金属诱导和激光退火等。目前业界应用最为广泛的制备方式是激光退火工艺，通过激光产生的高温将非晶硅熔融重结晶成多晶硅。虽然通过调节激光的参数可以使得结晶效果得到优化，但由于受机台规格限制，可以调制的参数及其范围有限，比如激光频率，使得我们无法对多晶硅的结晶过程及效果进行更深入的研究。

如图1所示，其为现有的激光退火工艺中激光脉冲光路示意图，图中的原激光脉冲100经过一分光镜200后将原激光脉冲100分裂成两个子激光脉冲101、102，子激光脉冲101、102的能量均为原激光脉冲100的50%，其中，子激光脉冲101经过四个反光镜300反射后传输回至分光镜200处，与子激光脉冲102相叠加，由于经过分光镜200后的子激光脉冲101、102在垂直方向上存在一段下移距离，因此，采用补偿片400将叠加后的激光脉冲103调节至原始的垂直位置。在该过程中，相较于子激光脉冲102，子激光脉冲101传输的距离要长，所以会与子激光脉冲102存在时间延迟，子激光脉冲101和子激光脉冲102最终叠加在一起形成上图所示的激光脉冲104。由于受机台规格限制，如图1所示的四个反光镜300的位置全部固定，无法再进行调节，最终所形成的激光脉冲104为固定形式，无法对多晶硅的结晶过程及效果进行更进一步的改善。

发明内容

本发明的目的在于提供一种调节激光频率的方法，通过将原激光脉冲分成两子激光脉冲，并在其中一子激光脉冲的原本光路中增加光程延长装置来进一步增大两子激光脉冲的光程差，以成为两个明显分立的子激光脉冲，最后以两者的叠加来实现激光的频率调节。

本发明的另一目的在于提供一种激光频率调节系统，通过增加光程延长装置来增加子激光脉冲的光程，可以有效地拓宽激光脉冲的频率范围，并且在相同的时间内，基板可以接受更多的激光照射，可以进一步完善多晶硅的结晶效果。

为实现上述目的，本发明提供一种调节激光频率的方法，包括以下步骤：

步骤1、提供一原激光脉冲；

步骤2、利用分光镜将该原激光脉冲分成分别沿两个方向传输的第一子激光脉冲和第二子激光脉冲；

步骤3、利用数个反射镜将第一子激光脉冲反射至分光镜上第二子激光脉冲的出射处，并在该第一子激光脉冲传输过程中，使该第一子激光脉冲通过一光程延长装置；

步骤4、所述第一子激光脉冲经分光镜反射后与第二子激光脉冲具有相同的传输方向，并与第二子激光脉冲相叠加，并利用补偿片对叠加形成的激光脉冲的传输方向进行调节。

所述第一子激光脉冲为原激光脉冲在分光镜上部分反射而形成，所述第二子激光脉冲为原激光脉冲部分穿过该分光镜出射而形成，通过调节分光镜的反射系数来调节第一子激光脉冲和第二子激光脉冲占原激光脉冲的能量比。

所述第一子激光脉冲的能量为原激光脉冲的能量的50%，所述第二子激光脉冲的能量为原激光脉冲的能量的50%。

所述光程延长装置包括：光学晶体及设于所述光学晶体两端的高透光率防反射层，所述第一子激光脉冲从光学晶体一端的高透光率防反射层入射，并从光学晶体另一端的高透光率防反射层出射。

所述光学晶体为存在电光效应的光学晶体，所述光学晶体对应波长为308nm的激光时的折射率大于3，所述高透光率防反射层由MgF₂或者Al₂O₃制成。