[发明专利]调节激光频率的方法及激光频率调节系统

权利要求书

1.一种调节激光频率的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、提供一原激光脉冲（10）；

步骤2、利用分光镜（20）将该原激光脉冲（10）分成分别沿两个方向传输的第一子激光脉冲（11）和第二子激光脉冲（12）；

步骤3、利用数个反射镜（30）将第一子激光脉冲（11）反射至分光镜（20）上第二子激光脉冲（12）的出射处，并在该第一子激光脉冲（11）传输过程中，使该第一子激光脉冲（11）通过一光程延长装置（40）；

步骤4、所述第一子激光脉冲（11）经分光镜（20）反射后与第二子激光脉冲（12）具有相同的传输方向，并与第二子激光脉冲（12）相叠加，并利用补偿片（50）对叠加形成的激光脉冲（13）的传输方向进行调节。

2.如权利要求1所述的调节激光频率的方法，其特征在于，所述第一子激光脉冲（11）为原激光脉冲（10）在分光镜（20）上部分反射而形成，所述第二子激光脉冲（12）为原激光脉冲（10）部分穿过该分光镜（20）出射而形成，通过调节分光镜（20）的反射系数来调节第一子激光脉冲（11）和第二子激光脉冲（12）占原激光脉冲（10）的能量比。

3.如权利要求2所述的调节激光频率的方法，其特征在于，所述第一子激光脉冲（11）的能量为原激光脉冲（10）的能量的50%，所述第二子激光脉冲（12）的能量为原激光脉冲（10）的能量的50%。

4.如权利要求1所述的调节激光频率的方法，其特征在于，所述光程延长装置（40）包括：光学晶体（42）及设于所述光学晶体（42）两端的高透光率防反射层（44），所述第一子激光脉冲（11）从光学晶体（42）一端的高透光率防反射层（44）入射，并从光学晶体（42）另一端的高透光率防反射层（42）出射。

5.如权利要求4所述的调节激光频率的方法，其特征在于，所述光学晶体（42）为存在电光效应的光学晶体，所述光学晶体（42）对应波长为308nm的激光时的折射率大于3，所述高透光率防反射层（44）由MgF₂或者Al₂O₃制成。

6.如权利要求1所述的调节激光频率的方法，其特征在于，所述反射镜（30）的数量为四个，分别为第一至第四反射镜（32、34、36、38），所述第一子激光脉冲（11）从分光镜（20）出射后经过第一反射镜（32）反射后传输至第三反射镜（36），经过第三反射镜（36）反射后传输至所述光程延长装置（40），并穿过该光程延长装置（40）后传输至第二反射镜（34），经过第二反射镜（34）反射后传输至第四反射镜（38），经过第四反射镜（38）反射后以一定角度传输至分光镜（20）上第二子激光脉冲（12）的出射处，以与第二子激光脉冲（12）相叠加。

7.如权利要求1所述的调节激光频率的方法，其特征在于，所述第一子激光脉冲（11）与第二子激光脉冲（12）叠加形成的激光脉冲（13）经补偿片（50）调节后，与原激光脉冲（10）具有相同的传输方向，且处于同一水平高度上。

8.一种激光频率调节系统，其特征在于，包括：一入射口（22）、一分光镜（20）、数个反射镜（30）、一光程延长装置（40）、一补偿片（50）及一出射口（24）；该分光镜（20）相对该入射口（22）设置，该补偿片（50）相对该出射口（24）设置；一原激光脉冲（10）从该入射口（22）入射至分光镜（20）处，经分光镜（20）分成沿两个方向传输的第一子激光脉冲（11）和第二子激光脉冲（12），所述数个反射镜（30）将该第一子激光脉冲（11）以一定角度反射至该分光镜（20）上第二子激光脉冲（12）出射处，并与第二子激光脉冲（12）叠加后经过补偿片（50）调节传输方向后从该出射口（24）射出，所述光程延长装置（40）设于该第一子激光脉冲（11）的传输光路中。